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Research funding number

00735326

Research Interests

• 圧電デバイス
• 結晶配向制御
• 機能性薄膜

Research Areas

• Manufacturing technology (mechanical, electrical/electronic, chemical engineering) / Measurement engineering
• Nanotechnology/Materials / Applied physics - general
• Nanotechnology/Materials / Thin-film surfaces and interfaces

Research Experience

• Doshisha University, Faculty of Life and Medical Sciences Department of Biomedical Information, 准教授, 2024/04 - Today
• Doshisha University, Faculty of Life and Medical Sciences, Department of Biomedical Information, 助教, 2019/04 - 2024/03
• Nagoya Institute of Technology, Graduate School of Engineering Omohi College, Assistant Professor, 2016/04 - 2019/03
• Doshisha University, Office for Research Initiatives and Development, 助教, 2014/04 - 2016/03
• Doshisha University, 工学研究科, 日本学術振興会特別研究員, 2012/04 - 2014/03

Education

• Doshisha University, Graduate School, Division of Engineering, Department of Electrical and Electronic Engineering, 2011/04 - 2014/03
• Doshisha University, Graduate School, Division of Engineering, Department of Electrical and Electronic Engineering, 2009/04 - 2011/03
• Doshisha University, Faculty of Engineering, Depertment of Electronics, 2005/04 - 2009/03

Association Memberships

• The Japan Society of Vacuum and Surface Science
• THE JAPAN SOCIETY OF ULTRASONICS IN MEDICINE
• ACOUSTICAL SOCIETY OF JAPAN
• IEEE
• THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS

Committee Memberships

• 運営委員, 2018 - Today, 圧電材料・デバイスシンポジウム, Society
• 関西支部 若手の会実行委員, 2014/04 - 2017/03, 日本音響学会, Society

Published Papers

• Improvement of Shear-Mode Electromechanical Coupling of c-Axis Parallel Oriented ZnO Film by Limiting Particle Irradiation Direction During RF Magnetron Sputtering
  Naoki Tomiyama; Taiki Sato; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
  2023 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), IEEE, 03 Sep. 2023, International conference proceedings
  

  URLDOI URL
• Theoretical investigation of Rayleigh surface acoustic wave propagation characteristics in c-axis-zigzag ScAlN film/silicon substrate structure
  Takumi Tominaga; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
  J. Appl. Phys., 133 204502-1 - 204502-10, 23 May 2023, Scientific journal
  

  DOI URL
• c-Axis-tilted ScAlN films grown on silicon substrates for surface acoustic wave devices
  Takumi Tominaga; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
  Japanese Journal of Applied Physics, 61(SG), 01 Jul. 2022, Scientific journal
  

  DOI URLScopus URLScopus Citedby URL
• Signal Amplification of the Transient Response Measured by the Subnanosecond Pump-Probe Method Based on Surface Plasmon Resonance
  Hayato Ichihashi; Shoya Ueno; Takumi Fukunaga; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
  IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 69(6) 2152 - 2161, 01 Jun. 2022, Scientific journal
  

  DOI URLScopus URLScopus Citedby URL
• Negative-ion bombardment increases during low-pressure sputtering deposition and their effects on the crystallinities and piezoelectric properties of scandium aluminum nitride films
  Takumi Tominaga; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
  Journal of Physics D: Applied Physics, 55(10), 10 Mar. 2022, Scientific journal
  

  DOI URLScopus URLScopus Citedby URL
• Growth of O-Polar and Zn-Polar Ferroelectric MgZnO Thin Films Controlled by Sputtering Geometry
  Yohkoh Shiman; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
  IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, 2022-October, 2022, International conference proceedings
  

  DOI URLScopus URLScopus Citedby URL
• Polarization control of scaln, zno and pbtio3piezoelectric films: application to polarization-inverted multilayer bulk acoustic wave and surface acoustic wave devices
  Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi
  Japanese Journal of Applied Physics, 60(SD), Jul. 2021
  

  DOI URLScopus URLScopus Citedby URL
• Preliminary Investigation of Magnetic Resonance Imaging Guided Beamforming in Flexible Type Ultrasonic Array Transducers
  Koki Hasegawa; Kengo Namekawa; Shinji Takayanagi; Iwaki Akiyama
  Frontiers in Physics, 9, 18 Mar. 2021, Scientific journal
  

  DOI URLScopus URLScopus Citedby URL
• C-Axis-Tilted ScAlN Film on Silicon Substrate for Surface Acoustic Wave Device
  Takumi Tominaga; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
  IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, 2021, International conference proceedings
  

  DOI URLScopus URLScopus Citedby URL
• メダカ胚プロテオーム解析による発生期の超音波照射影響
  西野 嘉晃; 葛 徳; 秋山 いわき; 池川 雅哉; 岩崎 了教; 高柳 真司
  超音波医学, (公社)日本超音波医学会, 47(Suppl.) S383 - S383, Nov. 2020
• Deterioration in the piezoelectric property of ScAlN thin films by negative ion bombardment increased in low-pressure sputtering deposition
  Takumi Tominaga; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
  IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, 2020-September, 07 Sep. 2020, International conference proceedings
  

  DOI URLScopus URLScopus Citedby URL
• Piezoelectric and Inversely Piezoelectric Responses of Bone Tissue Plates in the Megahertz Range
  Taiki Makino; Tsukasa Nakamura; Leslie Bustamante; Shinji Takayanagi; Daisuke Koyama; Mami Matsukawa
  IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 67(8) 1525 - 1532, Aug. 2020, Scientific journal
  

  DOI URLScopus URLScopus Citedby URL
• Effect of negative ions generation from sputtering target on crystalline orientation and kt 2 of ScAlN thin films
  Rui Kihara; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
  2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), IEEE, 2019-October 1120 - 1123, Oct. 2019, International conference proceedings
  

  URLDOI URLScopus URLScopus Citedby URL
• Improvement of c-Axis Parallel Orientaition of ZnO film on Silica Glass Pipes with Various Diameters for SH-SAW Pipe Sensor
  Takuya Wakabayashi; Shinji Takayanagi; Mami Matukawa; Yuta Takamura; Takahiko Yanagitani
  2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), IEEE, 2019-October 671 - 674, Oct. 2019, International conference proceedings
  

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• A simple model for the simulation of ultrasonically induced electric potentials
  Eliana Samira Stivan; Tsukasa Nakamura; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
  IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, 2019-October 525 - 528, Oct. 2019, International conference proceedings
  

  DOI URLScopus URLScopus Citedby URL
• Fabrication of thickness-shear mode resonator with ZnO film and its frequency characteristics of liquid loading
  宮田 昌哉; 高柳 真司; 松川 真美; 柳谷 隆彦
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 119(152) 33 - 37, 29 Jul. 2019, Scientific journal
• Design of zinc oxide-based surface acoustic wave sensors using a graphene electrode
  Hiroki Ogura; Shinji Takayanagi; Koji Abe; Gemma Rius; Masaki Tanemura
  Japanese Journal of Applied Physics, 58(SA), Feb. 2019, International conference proceedings
  

  URLDOI URLScopus Citedby URL
• C-Axis Tilted ScAIN Film Shear Mode Resonators for Biosensing
  Hana Yazaki; Takumi Soutome; Rei Karasawa; Shinji Takayanagi; Kenji Yoshida; Takahiko Yanagitani
  IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, 2018-October, 17 Dec. 2018, International conference proceedings
  

  URLDOI URLScopus Citedby URL
• The Influence of Negative Ions Generation on the Arc-Melted and Hot Press Sintered Scal Alloy Targets to the Crystalline Orientation and k t² of the Scaln Films
  Yuka Endo; Rei Karasawa; Shinji Takayanagi; Makoto Imakawa; Keisuke Morisaka; Yu Suzuki; Takahiko Yanagitani
  IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, 2018-October, 17 Dec. 2018, International conference proceedings
  

  URLDOI URLScopus Citedby URL
• Deposition of c-axis parallel oriented ZnO film on entire surface of silica glass pipe
  篁 佑太; 高柳 真司; 松川 真美; 柳谷 隆彦
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 118(277) 25 - 30, 02 Nov. 2018, Scientific journal
• Control of hydroxyapatite film orientation by RF magnetron sputtering
  Takafumi Kubota; Keishiro Hirata; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
  Proceedings of the Annual International Conference of the IEEE Engineering in Medicine and Biology Society, EMBS, 2018-July 4225 - 4228, 26 Oct. 2018, International conference proceedings
  

  DOI URLScopus Citedby URL
• The influence of negative ions generation on various ScAl alloy sputtering targets to ScAlN film properties : Comparison of EB-melted, arc-melted and hot press sintered ScAl alloy targets
  唐澤 嶺; 高柳 真司; 遠藤 結佳; 今川 誠; 森坂 啓介; 鈴木 雄; 柳谷 隆彦
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 118(229) 37 - 42, 04 Oct. 2018
• c-Axis tilted ScAlN film shear mode resonators for detection of biomolecular interactions in liquid
  矢崎 花; 五月女 巧; 唐澤 嶺; 高柳 真司; 吉田 憲司; 柳谷 隆彦
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 118(229) 31 - 35, 04 Oct. 2018
• Rapid Wave Velocity Measurement by Brillouin Scattering Using Coherent Phonons Induced by ScAlN Piezoelectric Thin-Film Transducer
  Kawabe Masahiko; Takayanagi Shinji; Ichihashi Hayato; Suzuki Masashi; Yanagitani Takahiko; Matsukawa Mami
  IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL, 65(10) 1882 - 1887, Oct. 2018, Scientific journal
  

  DOI URL
• Highly sensitive detection of photo-thermal transient stress by a sub-nanosecond pump probe with surface plasmon resonance
  Ichihashi Hayato; Hayashi Hiromichi; Takayanagi Shinji; Matsukawa Mami; Watanabe Yoshiaki
  AIP ADVANCES, 8(10), Oct. 2018, Scientific journal
  

  DOI URLScopus URLScopus Citedby URL
• UV-laser-induced orientation of ZnO seed layer crystals for the growth of ZnO nanorods
  Zhang Qiyan; Honda Mitsuhiro; Takayanagi Shinji; Ichikawa Yo
  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, IOP Publishing, 57(7) 070306 - 070306, Jul. 2018, Scientific journal
  

  URLDOI URL
• Ultrasonically-induced electrical potentials in demineralized bovine cortical bone
  Shunki Mori; Taiki Makino; Daisuke Koyama; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani; Mami Matsukawa
  AIP Advances, American Institute of Physics Inc., 8(4), 01 Apr. 2018, Scientific journal
  

  DOI URL
• Evaluation study on inverse piezoelectric effect of cortical bone in the MHz range
  牧野 大輝; 森 駿貴; 中西 翔子; 小山 大介; 高柳 真司; 松川 真美
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 117(398) 51 - 54, 23 Jan. 2018
• Fabrication of oriented hydroxyapatite film by RF magnetron sputtering
  Keishiro Hirata; Takafumi Kubota; Daisuke Koyama; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
  AIP ADVANCES, AMER INST PHYSICS, 7(8), Aug. 2017, Scientific journal
  

  DOI URL
• Rapid measurement of longitudinal and shear wave velocities by Brillouin scattering from coherent induced phonons
  川部 昌彦; 柳谷 隆彦; 柴垣 慶明; 高柳 真司; 鈴木 雅視; 松川 真美
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 117(155) 71 - 74, 27 Jul. 2017, Scientific journal
• Evaluation of the acoustoelectric effect in the thickness direction of c-plane ZnO single crystals by Brillouin scattering
  Shota Tomita; Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi; Hayato Ichihashi; Yoshiaki Shibagaki; Hiromichi Hayashi; Mami Matsukawa
  JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, AMER INST PHYSICS, 121(23), Jun. 2017, Scientific journal
  

  DOI URL
• Effect of anisotropy on stress-induced electrical potentials in bovine bone using ultrasound irradiation
  S. Matsukawa; T. Makino; S. Mori; D. Koyama; S. Takayanagi; K. Mizuno; T. Yanagitani; M. Matsukawa
  APPLIED PHYSICS LETTERS, AMER INST PHYSICS, 110(14), Apr. 2017, Scientific journal
  

  DOI URL
• A study on the piezoelectricity of collagen in bone in the MHz range
  森 駿貴; 松川 沙弥果; 寺木 瞳; 高野 幸樹; 坂田 祥崇; 高柳 真司; 松川 真美
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 116(419) 43 - 46, 25 Jan. 2017
• Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices
  Shohei Tokuda; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa; Takahiko Yanagitani
  2017 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), IEEE, 2017, International conference proceedings
  

  DOI URL
• Induced electric potential in cartilage by ultrasound irradiation
  森 駿貴; 松川 沙弥果; 坂田 祥崇; 眞野 功; 高柳 真司; 松川 真美
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 116(84) 35 - 38, 10 Jun. 2016
• Acoustic-Wave Velocities and Refractive Indices in an m-Plane GaN Single-Crystal Plate and c-Axis-Oriented ScAlN Films Measured by Brillouin Scattering Techniques
  Hayato Ichihashi; Takahiko Yanagitani; Masashi Suzuki; Shinji Takayanagi; Masahiko Kawabe; Shota Tomita; Mami Matsukawa
  IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL, IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC, 63(5) 717 - 725, May 2016, Scientific journal
  

  DOI URL
• Investigation of electroacoustic transformation device -Thermophone- for radiating broadband ultrasound
  西岡 卓哉; 高柳 真司; ブルギエール オリヴィエ
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(423) 105 - 110, 28 Jan. 2016
• Investigation of electroacoustic transformation device -Thermophone- for radiating broadband ultrasound
  西岡 卓哉; 高柳 真司; ブルギエール オリヴィエ
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(424) 63 - 68, 28 Jan. 2016
• Rapid and simultaneous measurement of longitudinal and shear wave velocities by Brillouin scattering from artificially induced phonons
  Masahiko Kawabe; Yoshiaki Shibagaki; Mami Matsukawa; Takahiko Yanagitani; Masashi Suzuki; Shinji Takayanagi
  2016 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), IEEE, 2016-November, 2016, International conference proceedings
  

  DOI URL
• Effects of energetic negative ions generated from sputtering targets on ScAlN film growth
  Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa; Takahiko Yanagitani
  2016 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), IEEE, 2016-November, 2016, International conference proceedings
  

  DOI URL
• Polarization control of ScAlN, ZnO, and PbTiO3 films: Application to polarization inverted multilayer BAW and SAW devices
  T. Yanagitani; M. Suzuki; S. Takayanagi
  Proceedings of 6th International Symp. on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems, Nov. 2015, International conference proceedings
• Brillouin scattering measurement of coherent phonons induced by ScAlN piezoelectric thin film
  趙 恩慧; 川部 昌彦; 高柳 真司
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(246) 27 - 30, 09 Oct. 2015
• Measurement of wave velocity in cortical bone by micro-Brillouin scattering technique
  井本 有紀; 高柳 真司; 斎藤 充
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(207) 43 - 46, 03 Sep. 2015
• Electromechanical coupling coefficients of c-axis parallel oriented ScAlN films grown by ion-beam assisted RF magnetron sputtering
  岡 峰生; 高柳 真司; 柳谷 隆彦
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(207) 31 - 35, 03 Sep. 2015
• Growth of c-axis parallel oriented ZnO film by RF magnetron sputtering at low gas pressure and its application in SAW and Lamb wave devices
  高柳 真司; 柳谷 隆彦; GERBEDOEN Jean-Claude
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(207) 25 - 30, 03 Sep. 2015
• Investigation of multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure
  日山 彰子; 柳谷 隆彦; 高柳 真司
  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(207) 19 - 24, 03 Sep. 2015
• Effects of microstructure and water on the electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation
  H. Tsuneda; S. Matsukawa; S. Takayanagi; K. Mizuno; T. Yanagitani; M. Matsukawa
  APPLIED PHYSICS LETTERS, AMER INST PHYSICS, 106(7), Feb. 2015, Scientific journal
  

  DOI URL
• Design of high frequency ultrasonic probe for non-destructive testing
  Yanagitani Takahiko; Suzuki Masashi; Takayanagi Shinji
  THE JOURNAL OF THE ACOUSTICAL SOCIETY OF JAPAN, 一般社団法人 日本音響学会, 71(5) 230 - 238, 2015
• Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering
  Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa; Takahiko Yanagitani
  2015 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), IEEE, 2015, International conference proceedings
  

  DOI URL
• Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film
  Masahiko Kawabe; Hayato Ichihashi; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa; Takahiko Yanagitani; Masashi Suzuki
  2015 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), IEEE, 2015, International conference proceedings
  

  DOI URL
• Polarity of electric potentials in bone induced by ultrasound irradiation
  TSUNEDA Hiroko; MATSUKAWA Sayaka; MANO Isao; MIZUNO Katsunori; YANAGITANI Takahiko; TAKAYANAGI Shinji; MATUKAWA Mami
  IEICE technical report. Ultrasonics, 一般社団法人電子情報通信学会, 114(229) 19 - 22, 29 Sep. 2014
• Gigahertz Acoustic Wave Velocity Measurement in GaN Single Crystals Considering Acousto-Electric Effect
  Hayato Ichihashi; Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi; Masahiko Kawabe; Mami Matsukawa
  IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL, IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC, 61(8) 1307 - 1313, Aug. 2014, Scientific journal
  

  DOI URL
• Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure
  Shoko Hiyama; Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi; Yoshiya Kato; Mami Matsukawa
  2014 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), IEEE, 765 - 768, 2014, International conference proceedings
  

  DOI URL
• Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique
  Hayato Ichihashi; Takahiko Yanagitani; Masashi Suzuki; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
  2014 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), IEEE, 2521 - 2524, 2014, International conference proceedings
  

  DOI URL
• A method for predicting thickness of the unoriented layer in ZnO film using piezoelectricity distribution in depth direction
  S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
  JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, IOP PUBLISHING LTD, 46(31), Aug. 2013, Scientific journal
  

  DOI URL
• Effect of metal mode and oxide mode on unusual c-axis parallel oriented ZnO film growth on Al/glass substrate in a reactive magnetron sputtering of Zn target
  Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani; Mami Matsukawa
  JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, ELSEVIER SCIENCE BV, 363 22 - 24, Jan. 2013, Scientific journal
  

  DOI URL
• High-performance brillouin spectroscopy of phonons induced by a piezoelectric thin film with a coaxial microwave resonator
  Hiroyuki Sano; Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi; Takeshi Sugimoto; Mami Matsukawa
  IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 60(5) 873 - 876, 2013, Scientific journal
  

  URLDOI URL
• Unusual growth of polycrystalline oxide film induced by negative ion bombardment in the capacitively coupled plasma deposition
  S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
  APPLIED PHYSICS LETTERS, AMER INST PHYSICS, 101(23), Dec. 2012, Scientific journal
  

  DOI URL
• Fabrication of polarity-inverted ZnO films using ion bombardment to the substrate during an RF magnetron sputtering
  IKOMA Ryo; YANAGITANI Takahiko; TAKAYANAGI Shinji; SUZUKI Masashi; ODAGAWA Hiroyuki; MATSUKAWA Mami
  IEICE technical report. Ultrasonics, 一般社団法人電子情報通信学会, 112(213) 21 - 25, 24 Sep. 2012
• Wideband Multimode Transducer Consisting of c-Axis Tilted ZnO/c-Axis Normal ZnO Multilayer
  Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani; Mami Matsukawa
  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, JAPAN SOC APPLIED PHYSICS, 51(7), Jul. 2012, Scientific journal
  

  DOI URL
• Measurement of Wave Velocity in Cortical Bone by Micro-Brillouin Scattering Technique: Effect of Bone Tissue Properties
  Kenji Fukui; Shinji Takayanagi; Daisuke Suga; Mami Matsukawa
  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, IOP PUBLISHING LTD, 51(7), Jul. 2012, Scientific journal
  

  DOI URL
• Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons
  Takeshi Sugimoto; Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
  2012 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), IEEE, 2012, International conference proceedings
  

  DOI URL
• Brillouin scattering by induced phonon in the GHz range emitted from ZnO piezoelectric thin film
  SUGIMOTO Takeshi; SANO Hiroyuki; YANAGITANI Takahiko; TAKAYANAGI Shinji; MATSUKAWA Mami
  IEICE technical report, 一般社団法人電子情報通信学会, 111(158) 15 - 19, 21 Jul. 2011
• c-Axis Zig-Zag ZnO Film Ultrasonic Transducers for Designing Longitudinal and Shear Wave Resonant Frequencies and Modes
  Takahiko Yanagitani; Naoki Morisato; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa; Yoshiaki Watanabe
  IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL, IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC, 58(5) 1062 - 1068, May 2011, Scientific journal
  

  DOI URL
• Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11(2)over-bar0) texture formation in ZnO films
  Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani; Mami Matsukawa; Yoshiaki Watanabe
  2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), IEEE, 2317 - 2320, 2011, International conference proceedings
  

  DOI URL
• Brillouin scattering from induced phonons excited by the ZnO piezoelectric thin film with a coaxial resonator
  Takeshi Sugimoto; Hiroyuki Sano; Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
  2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), IEEE, 1099 - 1102, 2011, International conference proceedings
  

  DOI URL
• Brillouin scattering from phonons induced by coaxial microwave resonator and ZnO transducer
  SANO Hiroyuki; YANAGITANI Takahiko; TAKAYANAGI Shinji; MATSUKAWA Mami
  IEICE technical report, 一般社団法人電子情報通信学会, 110(213) 99 - 103, 22 Sep. 2010
• c-axis parallel oriented ZnO film depositions by RF bias sputtering : The effect of bias frequency on the orientation
  TAKAYANAGI Shinji; YANAGITANI Takahiko; MATSUKAWA Mami; WATANABE Yoshiaki
  IEICE technical report, 一般社団法人電子情報通信学会, 110(213) 75 - 80, 22 Sep. 2010
• Characteristic three dimensional anisotropy of ultrasonic wave velocity in cortical bone of bovine femur : Tilt of the highest velocity direction from bone axis
  NAKATSUJI Tomohiro; YAMAMOTO Kazufumi; TAKAYANAGI Shinji; YANAGITANI Takahiko; MATSUKAWA Mami; YAMAZAKI Kaoru
  IEICE technical report, 一般社団法人電子情報通信学会, 110(213) 63 - 68, 22 Sep. 2010
• A simple technique for obtaining (112̄0) or (101̄0) textured ZnO films by RF bias sputtering
  Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani; Mami Matsukawa; Yoshiaki Watanabe
  Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium, 1060 - 1063, 2010, International conference proceedings
  

  URLDOI URL
• Multilayer shear mode resonator consisting of c-axis tilted ZnO films
  MORISATO Naoki; TAKAYANAGI Shinji; YANAGITANI Takahiko; MATSUKAWA Mami; WATANABE Yoshiaki
  IEICE technical report, 一般社団法人電子情報通信学会, 109(213) 53 - 58, 22 Sep. 2009
• Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films
  Naoki Morisato; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani; Mami Matsukawa; Yoshiaki Watanabe
  Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium, 2009, International conference proceedings
  

  URLDOI URL

MISC

• 低圧スパッタ法により増大する負イオン照射がScAIN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響 (特集 圧電材料の研究と応用)
  冨永 卓海; 髙柳 真司; 柳谷 隆彦
  超音波techno, 日本工業出版, 32(5) 17 - 22, Sep. 2020
• ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響
  高柳 真司; 柳谷 隆彦
  電子情報通信学会技術研究報告, vol. 120, no. 174 51 - 56, 2020
  

  URL
• Proteomic analysis of developmental effect on medaka embryo exposed to ultrasound
  西野嘉晃; GE De; 秋山いわき; 池川雅哉; 岩崎了教; 高柳真司
  超音波医学 Supplement, 47, 2020
• 圧電・超音波材料 スパッタ成膜中にSc金属から発生する高速負イオンがScAlN薄膜の圧電性に及ぼす影響
  高柳 真司; 柳谷 隆彦
  超音波techno, 日本工業出版, 30(6) 68 - 72, Nov. 2018
• Deposition apparatus of piezoelectric film
  Takayanagi Shinji
  THE JOURNAL OF THE ACOUSTICAL SOCIETY OF JAPAN, 一般社団法人 日本音響学会, 72(9) 606 - 607, Sep. 2016, Introduction scientific journal
  

  DOI URL
• 2P1-7 Shear mode electromechanical coupling coefficient of c-axis parallel oriented ZnO films by sputtering with H2O
  Takata Chihiro; Takayanagi Shinji; Yanagitani Takahiko; Matsukawa Mami
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 36 "2P1 - 7-1"-"2P1-7-2", 05 Nov. 2015
• 3J3-2 Growth of c-axis parallel oriented ScAlN films by ion-beam assisted sputtering and their application in pure shear mode resonators
  Oka Mineki; Takayanagi Shinji; Yanagitani Takahiko; Matsukawa Mami
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 36 "3J3 - 2-1"-"3J3-2-2", 05 Nov. 2015
• Q&Aコーナー(コーヒーブレーク)
  高柳 真司
  日本音響学会誌, 一般社団法人 日本音響学会, 71(5) 261 - 261, 2015
• 3P1-5 Elastic constants c_<11> and c_<66> in Sc_xAl_<1-x>N films determined by Brillouin scattering method(Poster Session)
  Ichihashi Hayato; Yanagitani Takahiko; Suzuki Masashi; Takayanagi Shinji; Kawabe Masahiko; Matsukawa Mami
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 35 407 - 408, 03 Dec. 2014
• 3J2-3 Effects of microstructure on bone piezoelectricity in the MHz range(Biomedical Ultrasound II)
  Tsuneda Hiroko; Matsukawa Sayaka; Mano Isao; Mizuno Katsunori; Yanagitani Takahiko; Takayanagi Shinji; Matsukawa Mami
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 35 387 - 388, 03 Dec. 2014
• 3P1-4 Brillouin scattering measurement using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film(Poster Session)
  Kawabe Masahiko; Yanagitani Takahiko; Ichihashi Hayato; Takayanagi Shinji; Suzuki Masashi; Matsukawa Mami
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 35 405 - 406, 03 Dec. 2014
• 1P3-7 Propagation characteristics of SH-wave in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure with liquid loading(Poster Session)
  Hiyama Shoko; Yanagitani Takahiko; Takayanagi Shinji; Matsukawa Mami
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 35 91 - 92, 03 Dec. 2014
• 1P5-16 Micro-Brillouin scattering study on the effect of water on wave velocity in cortical bone(Poster Session)
  Imoto Yuki; Tsuneda Hiroko; Takayanagi Shinji; Matsukawa Mami
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 35 155 - 156, 03 Dec. 2014
• 3P1-6 Wave velocity dispersion in GaN single crystal measured by Brillouin scattering method(Poster Session)
  Ichihashi Hayato; Yanagitani Takahiko; Takayanagi Shinji; Kawabe Masahiko; Matsukawa Mami
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 34 423 - 424, 20 Nov. 2013
• 1P3-7 c-Axis Tilted or c-Axis Parallel ScAlN Films/Substrate SAW Devices with High Electromechanical Coupling(Poster Session)
  Takayanagi Shinji; Yanagitani Takahiko; Matsukawa Mami
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 34 143 - 144, 20 Nov. 2013
• 3Pb3-3 Rayleigh mode SAW with high electromechanical coupling in the c-axis tilted ZnO(Poster Session)
  Takayanagi Shinji; Yanagitani Takahiko; Imamura Kosuke; Ikoma Ryo; Sugimoto Takeshi; Matsukawa Mami
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 33 453 - 454, 13 Nov. 2012
• 1Ja3-4 Control of Zn- or O-polar c-axis oriented ZnO films by different ion bombardment conditions to the substrate(Piezoelectric Devices)
  Ikoma Ryo; Yanagitani Takahiko; Takayanagi Shinji; Suzuki Masashi; Odagawa Hiroyuki; Matsukawa Mami
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 33 15 - 16, 13 Nov. 2012
• 3Pa5-8 Measurement of wave velocity in cortical bone by micro-Brillouin scattering technique : Effect of bone tissue properties(Poster Session)
  Fukui Kenji; Takayanagi Shinji; Suga Daisuke; Matsukawa Mami
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 32 411 - 412, 08 Nov. 2011
• 3Pa5-9 Dependence of ultrasonic wave velocity on the HAp crystallites orientation and bone mineral density(Poster Session)
  Suga Daisuke; Ikeda Kazuma; Takayanagi Shinji; Matsukawa Mami; Otani Takahiko; Yamamoto Kazufumi; Yanagitani Takahiko
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 32 413 - 414, 08 Nov. 2011
• 2Pa3-4 Wideband ZnO Multimode Transducer Consisting of c-axis Normal and Tilted Orientation Layers(Poster Session)
  Takayanagi Shinji; Yanagitani Takahiko; Matsukawa Mami; Watanabe Yoshiaki
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 32 99 - 100, 08 Nov. 2011
• 圧電・超音波材料 RFバイアススパッタ法による簡便なc軸平行配向ZnO膜の形成--RFバイアスを用いたイオン照射による結晶配向制御
  高柳 真司; 松川 真美; 渡辺 好章
  超音波techno, 日本工業出版, 23(2) 59 - 62, Mar. 2011
• 1Pb-7 Observation of induced phonons by ZnO transducer with coaxial microwave resonator using Brillouin scattering(Poster Session)
  Sano Hiroyuki; Yanagitani Takahiko; Takayanagi Shinji; Matsukawa Mami; Ohtori Norikazu
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 31 155 - 156, 06 Dec. 2010
• 3P-27 c-axis parallel oriented ZnO film depositions by variable frequency RF bias sputtering(Poster Session)
  Takayanagi Shinji; Yanagitani Takahiko; Matsukawa Mami; Watanabe Yoshiaki
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 31 509 - 510, 06 Dec. 2010
• 超音波デバイス c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用
  守里 直希; 高柳 真司; 松川 真美
  超音波techno, 日本工業出版, 22(5) 60 - 65, Sep. 2010
• 3P3-13 Multilayer shear mode resonator consisting of c-axis tilted ZnO films(Poster Session)
  Morisato Naoki; Yanagitani Takahiko; Matsukawa Mami; Watanabe Yoshiaki
  Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics, Steering committee of symposium on ultrasonic electronics, 30 501 - 502, 18 Nov. 2009

Presentations

• SAW デバイスへの応用に向けて Si 基板上に成長させた c 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜
  冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
  第42回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Oct. 2021, Poster presentation, オンライン
• MRI を用いた膵臓ファントムの作成とそのマルチモダリティイメージング
  上野慧; 川口達也; 高柳真司; 秋山いわき
  日本超音波医学会 第 48 回関西地方会学術集会, Oct. 2021, Oral presentation, 京都
• 超音波照射単一メダカ胚のプロテオーム解析 -SWATH 法による変動タンパク質特定の試み -
  上地貴大; 西野嘉晃; 池川雅哉; 岩崎了教; 葛徳; 上野智弘; 日下部りえ; 吉岡正裕; 高柳真司; 秋山いわき
  日本超音波医学会 第 48 回関西地方会学術集会, Oct. 2021, Oral presentation, 京都
• ジグザク配向 ScAlN 薄膜/Si 基板構造におけるレイリー波の伝搬特性解析
  冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
  第50回ＥＭシンポジウム, Sep. 2021, Oral presentation, オンライン
• SAWデバイスに向けたc軸傾斜配向ScAlN薄膜/Si基板構造の作製
  冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
  第82回応用物理学会秋期学術講演会, Sep. 2021, Poster presentation, オンライン
• c-Axis-Tilted ScAlN Film on Silicon Substrate for Surface Acoustic Wave Device
  T. Tominaga; S. Takayanagi; T. Yanagitani
  2021 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2021, Poster presentation, Online
• 超音波照射メダカ胚のプロテオーム網羅解析
  高柳真司; 西野嘉晃; 池川雅哉; 岩崎了教; 葛徳; 上地貴大; 上野智弘; 日下部りえ; 吉岡正裕; 秋山いわき
  日本超音波医学会第94回学術集会, May 2021, Oral presentation, 神戸
• 超音波とMRの同時撮像による肺のマルチモダリティイメージング
  川口達也; 高柳真司; 城田奏馬; 長谷川昂紀; 秋山いわき
  日本超音波医学会第94回学術集会, May 2021, Oral presentation, 神戸
• MRと超音波の同時撮像による超音波ビームの補正
  長谷川昂紀; 高柳真司; 山口祐平; 宮城友希乃; 川口達也; 秋山いわき
  日本超音波医学会第94回学術集会, May 2021, Oral presentation, 神戸
• 円管構造SH-SAWセンサに向けたc軸平行配向ZnO薄膜の石英ガラス管への成膜
  若林拓也; 高柳真司; 柳谷隆彦
  圧電材料・デバイスシンポジウム2021, Jan. 2021, Oral presentation, オンライン
• 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射とScAlN薄膜の結晶性および圧電性の劣化
  冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
  圧電材料・デバイスシンポジウム2021, Jan. 2021, Oral presentation, オンライン
• 基板へのイオン照射を抑制したスパッタ法によるZnO薄膜形成と結晶性および圧電性への影響
  富永浩平; 高柳真司; 柳谷隆彦
  圧電材料・デバイスシンポジウム2021, Jan. 2021, Oral presentation, オンライン
• メダカ胚プロテオーム解析による発生期の超音波照射影響
  西野嘉晃; 葛徳; 秋山いわき; 池川雅哉; 岩崎了教; 高柳真司
  日本超音波医学会第93回学術集会, Nov. 2020, Oral presentation, オンライン
• 円管構造SH-SAWセンサに向けたc軸平行配向ZnO薄膜の石英ガラス管回転成膜
  若林拓也; 高柳真司; 柳谷隆彦
  第41回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Nov. 2020, Poster presentation, オンライン
• 低圧スパッタ成膜において増大する負イオン照射がScAlN薄膜の圧電性に及ぼす影響
  冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
  第41回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Nov. 2020, Oral presentation, オンライン
• スパッタ成膜中に基板へ照射されるイオンの抑制をしたZnO薄膜の形成と圧電性への影響
  富永浩平; 高柳真司; 柳谷隆彦
  第41回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Nov. 2020, Poster presentation, オンライン
• 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響
  冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
  超音波研究会, Nov. 2020, Oral presentation, 豊田
• Effect of negative-ion-bombardment suppression by applying voltage to grids set between substrate and sputtering target during sputtering deposition on crystalline orientation of ZnO film
  K. Tominaga; S. Takayanagi; T. Yanagitani
  2020 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2020, Poster presentation, Online
• Measurement of time response of electrical properties in thickness shear mode resonator with liquid loadings
  M Watabe; S. Takayanagi; T. Yanagitani
  2020 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2020, Poster presentation, Online
• Deterioration in the piezoelectric property of ScAlN thin films by negative ion bombardment increased in low-pressure sputtering deposition
  T. Tominaga; S. Takayanagi; T. Yanagitani
  2020 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2020, Poster presentation, Online
• Improvement of crystallization and shear-mode electromechanical coupling of c-axis-paralleloriented ZnO film by annealing treatment
  S. Takayanagi; K. Kimoto; T. Yanagitani
  2020 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2020, Poster presentation, Online
• 低圧スパッタによる負イオン照射の増大とScAlN薄膜の圧電性の劣化
  冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
  第67回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2020, Oral presentation, 千代田
• 熱処理によるc軸平行配向ZnO膜のすべりモード電気機械結合係数の向上
  紀本佳苗; 高柳真司; 柳谷隆彦
  第67回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2020, Poster presentation, 千代田
• スパッタターゲットから飛来する高速負イオンの照射抑制による ScAlN 薄膜の圧電性向上
  高柳真司; 木原流唯; 柳谷隆彦
  第40回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Nov. 2019, Oral presentation, 千代田
• Improvement of crystalline orientation and kt 2 of ScAlN thin films by suppression of negative ions generation from sputtering target
  R. Kihara; S. Takayanagi; T. Yanagitani
  2019 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct. 2019, Oral presentation, Glasgow, UK
• Improvement of C-Axis parallel orientation of ZnO film on silica glass pipes with various diameters for SH-SAW pipe sensor
  T. Wakabayashi; S. Takayanagi; Y. Takamura; M. Matsukawa; T. Yanagitani
  2019 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct. 2019, Poster presentation, Glasgow, UK
• マグネトロンスパッタにより作製した酸化チタン薄膜の結晶構造及び光学・電子物性の評価
  デシュムク ラフール; 本田 光裕; 安部 功二; 後藤 敬典; 高柳 真司; 堀尾 吉巳; 市川 洋
  第80回応用物理学会秋季学術講演会, Sep. 2019, Oral presentation, 札幌
• スパッタ成膜中の負イオン照射測定に基づいた高圧電性ScAlN薄膜の形成
  富永 浩平; 高柳 真司; 柳谷 隆彦
  第80回応用物理学会秋季学術講演会, Sep. 2019, Poster presentation, 札幌
• ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性
  宮田昌哉; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
  超音波研究会, Jul. 2019, Oral presentation, 札幌
• 溶融および焼結ScAl合金ターゲットを用いた高品質なScAlN薄膜の作製
  白 寧蕊; 唐澤 嶺; 高柳 真司; 今川 誠; 森坂 啓介; 鈴木 雄; 柳谷 隆彦
  第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019, Oral presentation, 目黒
• SH型SAWパイプセンサの作製に向けた石英ガラス管へのc軸平行配向ZnO膜の形成
  篁佑太; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
  第66回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019, Poster presentation, 目黒
• スパッタ成膜中の負イオン照射抑制によるScAlN薄膜の圧電性向上
  高柳真司; 柳谷隆彦
  圧電材料・デバイスシンポジウム2019, Jan. 2019, Oral presentation, 仙台
• Design and performance testing of zinc oxide based surface acoustic wave devices
  G. Rius; J. Sacristan; H. Ogura; S. Takayanagi; K. Abe; M. Tanemura
  the 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018), Nov. 2018, Poster presentation, Sapporoo, Japan
• グラフェン電極による酸化亜鉛薄膜の弾性表面波特性
  小椋 裕生; 加藤 優希; 高柳 真司; 安部 功二; G. Rius; 種村 眞幸
  第6回応用物理学会名古屋大学スチューデントチャプター東海地区学術講演会, Nov. 2018, Poster presentation, 名古屋
• スパッタ成膜中のイオン照射を利用した酸化物薄膜の結晶配向制御と薄膜応用デバイス
  高柳真司
  新無機膜研究会第86回研究会, Nov. 2018, Oral presentation, 名古屋
• SnOスパッタ膜特性の成膜酸素分圧の影響
  山田拓哉; 彦坂透磨; 高柳真司; 本田光裕; 市川洋
  2018年日本表面真空学会学術講演会, Nov. 2018, Oral presentation, 神戸
• 石英ガラス管全面へのc軸平行配向ZnO薄膜の成膜
  篁佑太; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
  超音波研究会, Nov. 2018, Oral presentation, 豊田
• c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出
  矢崎花; 五月女巧; 唐澤嶺; 高柳真司; 吉田憲司; 柳谷隆彦
  超音波研究会, Oct. 2018, Oral presentation, 仙台
• 製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ～電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較～
  唐澤嶺; 高柳真司; 遠藤結佳; 今川誠; 森坂啓介; 鈴木雄; 柳谷隆彦
  超音波研究会, Oct. 2018, Oral presentation, 仙台
• High sensitivity sub-nanosecond pump probe measurement with surface plasmon resonance
  H. Ichihashi; H. Hayashi; S. Takayanagi; M. Matsukawa
  2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct. 2018, Oral presentation, 神戸
• Ultrasound radiation from bovine cortical bone
  T. Makino; M. Kuraoka; D. Koyama; S. Takayanagi; M. Matsukawa
  2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct. 2018, Poster presentation, 神戸
• Evaluation of frequency shifts in thickness-shear mode resonator consisting of c-axis parallel oriented ZnO film for viscosity measurement
  M. Miyata; S. Takayanagi; M. Matsukawa; T. Yanagitani
  2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct. 2018, Poster presentation, 神戸
• c-axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing
  H. Yazaki; T. Sotome; S. Takayanagi; K. Yoshida; T. Yanagitani
  2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct. 2018, Oral presentation, 神戸
• The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films
  Y. Endo; R. Karasawa; S. Takayanagi; M. Imakawa; K. Morisaka; Y. Suzuki; T. Yanagitani
  2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct. 2018, Poster presentation, 神戸
• Improvement of crystalline orientation and electromechanical coupling in ScAlN film in view of negative ion bombardment during sputtering deposition
  S. Takayanagi; T. Yanagitani
  2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct. 2018, Oral presentation, 神戸
• 溶融及び焼結ScAl合金ターゲットからの負イオン照射がScAlN薄膜成長へ及ぼす影響
  遠藤結佳; 唐澤嶺; 高柳真司; 今川誠; 森坂啓介; 鈴木雄; 柳谷隆彦
  第39回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Oct. 2018, Poster presentation, 京都
• 皮質骨から放射される縦波超音波
  牧野大輝; 中村司; L. Bustamante; 小山大介; 高柳真司; 松川真美
  第39回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Oct. 2018, Poster presentation, 京都
• c軸傾斜配向すべりモードScAlN薄膜共振子を用いた生体反応検出
  矢崎花; 五月女巧; 唐澤嶺; 高柳真司; 吉田憲司; 柳谷隆彦
  第39回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Oct. 2018, Poster presentation, 京都
• グラフェン電極を利用した酸化亜鉛/石英ガラス基板の弾性波特性
  小椋 裕生; 高柳 真司; 安部 功二; G. Rius; 種村 眞幸
  第79回応用物理学会秋季学術講演会, Sep. 2018, Poster presentation, 名古屋
• 金属ターゲットから作製したSn-Oスパッタ膜の特性
  山田拓哉; 彦坂透磨; 高柳真司; 本田光裕; 市川洋
  第79回応用物理学会秋季学術講演会, Sep. 2018, Oral presentation, 名古屋
• Influence of negative ions generation on the quality of ScAlN films grown by sputtering targets with different concentration of oxygen and carbon
  Y. Endo; R. Karasawa; S. Takayanagi; M. Imakawa; K. Morisaka; Y. Suzuki; T. Yanagitani
  International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2018), Sep. 2018, Poster presentation, 神戸
• Control of hydroxyapatite film orientation by RF magnetron sputtering
  T. Kubota; K. Hirata; S. Takayanagi; M. Matsukawa
  40th International Conference of the IEEE Engineering in Medicine and Biology Society, Jul. 2018, Poster presentation, Honolulu, Hawaii, USA
• c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN 薄膜共振子を用いた生体高分子反応の検出
  矢崎花; 唐澤嶺; 吉田憲司; 高柳真司; 柳谷隆彦
  第47回EM シンポジウム, Jun. 2018, Oral presentation, 新宿
• 溶融および焼結ScAl 合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN 薄膜の成長に及ぼす影響
  唐澤嶺; 遠藤結佳; 高柳真司; 今川誠; 森坂啓介; 鈴木雄; 柳谷隆彦
  第47回EM シンポジウム, Jun. 2018, Oral presentation, 新宿
• サブナノ秒ポンプ・プローブ分光計測手法の開発
  林弘通; 市橋隼人; 高柳真司; 松川真美
  第61回光波センシング技術研究会講演会, Jun. 2018, Oral presentation, 新宿
• Sub-nanosecond pump probe measurement in a Au/Cr bimetal film
  H. Ichihashi; H. Hayashi; S. Takayanagi; M. Matsukawa
  The 7th Asia-Pacific Optical Sensors Conference, May 2018, Oral presentation, Matsue, Shimane, Japan
• Design and fabrication of ZnO-based SAW sensors
  H. Ogura; S. Takayanagi; K. Abe; G. Rius; M. Tanemura
  ISPlasma2018/IC-PLANTS2018, Mar. 2018, Poster presentation, Nagoya, Japan
• 分子間相互作用の検出に向けた圧電MEMSセンサの開発
  高柳真司
  文部科学省 平成29年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウム, Mar. 2018, Oral presentation, 文京区
• スパッタ成膜中にSc金属から発生した負イオンの照射によるScAlN薄膜の結晶配向性および圧電性の劣化
  高柳真司; 柳谷隆彦
  圧電材料・デバイスシンポジウム2018, Feb. 2018, Oral presentation, 仙台
• 厚みすべりモード薄膜共振子の液体負荷時における周波数変化及び減衰の検討
  岩永陸弥; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
  圧電材料・デバイスシンポジウム2018, Feb. 2018, Oral presentation, 仙台
• サファイア基板上への高角度c軸傾斜ScAlN膜の作製と弾性表面波伝搬特性
  徳田翔平; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
  圧電材料・デバイスシンポジウム2018, Feb. 2018, Oral presentation, 仙台
• MHz域における皮質骨の逆圧電効果の実験的検討
  牧野大輝; 森駿貴; 中西翔子; 小山大介; 高柳真司; 松川真美
  超音波研究会, Jan. 2018, Poster presentation, 京都
• Theoretical and experimental study of c-axis-tilted ScAlN / sapphire for SAW devices with high electromechanical coupling
  S. Tokuda; S. Takayanagi; M. Matsukawa; T. Yanagitani
  2017 International Congress on Ultrasonics, Dec. 2017, Oral presentation, Honolulu, USA
• Frequency characteristics of thickness-shear mode BAW resonator consisting of c-axis parallel oriented ZnO film for liquid viscosity measurement
  R. Iwanaga; S. Takayanagi; M. Matsukawa; T. Yanagitani
  2017 International Congress on Ultrasonics, Dec. 2017, Poster presentation, Honolulu, USA
• Study of shear mode acoustic wave devices with c-axis parallel oriented ZnO film to measure the liquid loading properties
  K. Mori; S. Takayanagi; M. Matsukawa; T. Yanagitani
  2017 International Congress on Ultrasonics, Dec. 2017, Poster presentation, Honolulu, USA
• Rapid and simple measurement of hypersonic wave velocity by Brillouin scattering with induced phonons
  Y. Shibagaki; S. Takayanagi; M. Kawabe; T. Yanagitani; M. Suzuki; M. Matsukawa
  174th Meeting of the Acoustical Society of America, Dec. 2017, Oral presentation, New Orleans, USA
• 横波超音波照射下における皮質骨中誘発電位の検討
  牧野大輝; 高野幸樹; 中西翔子; 小山大介; 高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
  第38回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Oct. 2017, Poster presentation, 多賀城
• 高い電気機械結合係数を持つSAWデバイスに向けたc軸傾斜ScAlN膜／サファイア基板の作製
  徳田翔平; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
  第38回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Oct. 2017, Poster presentation, 多賀城
• c軸平行配向ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の液体負荷特性
  岩永陸弥; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
  第38回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Oct. 2017, Poster presentation, 多賀城
• 励起フォノンを用いたBrillouin散乱計測の高速化
  柴垣慶明; 川部昌彦; 高柳真司; 柳谷隆彦; 鈴木雅視; 徳田翔平; 松川真美
  第38回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Oct. 2017, Poster presentation, 多賀城
• 電気機械特性の向上に向けたRFスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の作製
  盛一馬; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
  第38回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Oct. 2017, Poster presentation, 多賀城
• スパッタ成膜中にSc金属から発生する高速負イオンがScAlN薄膜の圧電性に及ぼす影響
  高柳真司; 柳谷隆彦
  第38回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Oct. 2017, Oral presentation, 多賀城
• c軸平行配向ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子における液体負荷時の周波数特性
  岩永陸弥; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
  第78回応用物理学会秋季学術講演会, Sep. 2017, Oral presentation, 福岡
• ScAlN薄膜トランスデューサを用いたBrillouin散乱法の簡略化
  柴垣慶明; 川部昌彦; 高柳真司; 柳谷隆彦; 鈴木雅視; 松川真美
  第78回応用物理学会秋季学術講演会, Sep. 2017, Poster presentation, 福岡
• Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices
  S. Tokuda; S. Takayanagi; M. Matsukawa; T. Yanagitani
  2017 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2017, Poster presentation, Washington, D.C., USA
• Film growth of c-axis parallel oriented ZnO on entire surface of silica glass pipe for SH-SAW pipe sensor
  Y. Takamura; S. Takayanagi; M. Matsukawa; C. Ishida; T. Yanagitani
  2017 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2017, Oral presentation, Washington, D.C., USA
• Effects of negative oxygen ions generated during Sc ingot sputtering on electromechanical coupling of ScAlN film
  S. Takayanagi; T. Yanagitani
  2017 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2017, Oral presentation, Washington, D.C., USA
• コヒーレントフォノン励起を用いたBrillouin散乱法による縦波・横波音速測定 の高速化
  川部昌彦; 柳谷隆彦; 柴垣慶明; 高柳真司; 鈴木雅視; 松川真美
  電子情報通信学会 超音波研究会, Jul. 2017, Oral presentation, 岡山
• 横波超音波照射下における皮質骨の誘発電位の検討
  牧野大輝; 高野幸樹; 中西翔子; 松川沙弥果; 高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
  第37回日本骨形態計測学会, Jun. 2017, Oral presentation, 吹田
• Ultrasonically induced electrical potentials in bovine cortical bone
  T. Makino; K. Takano; T. Kubota; S. Matsukawa; S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
  21st International Bone Densitometry Workshop/7th European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone, Jun. 2017, Poster presentation, Bad Staffelstein, Germany
• ブタ大腿骨皮質骨中における超音波誘発電位の評価
  牧野大輝; 松川沙弥果; 小山大介; 高柳真司; 水野勝紀; 柳谷隆彦; 松川真美
  日本音響学会2017年春季研究発表会, Mar. 2017, Oral presentation, 川崎
• 縦波・横波の超音波伝搬時における骨中誘発電位の検討
  松川沙弥果; 牧野大輝; 小山大介; 高柳真司; 水野勝紀; 柳谷隆彦; 松川真美
  圧電材料・デバイスシンポジウム2017, Feb. 2017, Oral presentation, 仙台
• RFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ZnO膜の圧電不活性層低 減に関する検討
  盛一馬; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
  圧電材料・デバイスシンポジウム2017, Feb. 2017, Oral presentation, 仙台
• 骨, コラーゲンのMHz域の圧電性に関する実験的検討
  森駿貴; 松川沙弥果; 寺木瞳; 高野幸樹; 坂田祥崇; 高柳真司; 松川真美
  電子情報通信学会 超音波研究会, Jan. 2017, Poster presentation, 京都
• 励起フォノンを用いたBrillouin散乱測定の高速化に関する検討
  柴垣慶明; 川部昌彦; 柳谷隆彦; 高柳真司; 鈴木雅視; 松川真美
  第58回光波センシング技術研究会, Dec. 2016, Oral presentation, 新宿
• Evaluation of piezoelectricity in bone by ultrasound irradiation
  S. Matsukawa; S.Mori; D. Koyama; S. Takayanagi; K. Mizuno; T. Yanagitani; M. Matsukawa
  The 37th Symposium on UltraSonic Electronics (USE2016), Nov. 2016, Poster presentation, Pusan, Korea
• Ultrasonically induced electric potentials in extracted collagen from cortical bone
  S. Mori; S. Matsukawa; M. Kawase; S. Takayanagi; M. Matsukawa
  The 37th Symposium on UltraSonic Electronics (USE2016), Nov. 2016, Poster presentation, Pusan, Korea
• Piezoelectric stiffening in the thickness direction of c-plane ZnO single crystal measured by Brillouin scattering
  S. Tomita; T. Yanagitani; S. Takayanagi; M. Matsukawa
  The 37th Symposium on UltraSonic Electronics (USE2016), Nov. 2016, Poster presentation, Pusan, Korea
• Induced electric potential in cortical bone and cartilage by ultrasound irradiation
  S. Mori; S. Matsukawa; M. Kawase; S. Takayanagi; M. Matsukawa
  5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan, Nov. 2016, Oral presentation, Honolulu, USA
• Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using artificially induced phonon
  Y. Shibagaki; M. Kawabe; S. Takayanagi; K. Mori; T. Yanagitan; M. Matsukawa
  5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan, Nov. 2016, Oral presentation, Honolulu, USA
• Broadband ultrasound emission from a three-layer thermo-acoustic transducer
  O. Y. Burguiere; S. Takayanagi; M. Matsukawa; S.Hiryu
  5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan, Nov. 2016, Oral presentation, Honolulu, USA
• Liquid loading characteristics of multiple SH-wave roundtrip in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe
  S. Takayamagi; S. Hiyama; M. Matsukawa; T. Yanagitani; M. Matsukawa
  5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan, Nov. 2016, Oral presentation, Honolulu, USA
• High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW using a polarization-inverted ScAlN film/highvelocity substrate structure
  S. Takayanagi; T. Yanagitani
  The 37th Symposium on UltraSonic Electronics (USE2016), Nov. 2016, Poster presentation, Pusan, Korea
• ScAlN薄膜トランスデューサを用いた縦波・横波のブリュアン散乱光の同時増幅
  柴垣慶明; 川部昌彦; 柳谷隆彦; 高柳真司; 鈴木雅視; 松川真美
  日本音響学会2016年秋季研究発表会, Sep. 2016, Oral presentation, 富山
• Brillouin scattering study on piezoelectric stiffening effect in the thickness direction of c-plane ZnO single crystal
  S. Tomita; T. Yanagitani; S. Takayanagi; H. Ichihashi; M. Matsukawa
  2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2016, Poster presentation, Tours, France
• Anisotropic behavior of induced electric potentials in bone by ultrasound irradiation
  S. Matsukawa; S.Mori; I. Mano; T. Yanagitani; K. Mizuno; S. Takayanagi; M. Matsukawa
  2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2016, Oral presentation, Tours, France
• Rapid and simultaneous measurement of longitudinal and shear wave velocities by Brillouin scattering from artificially induced phonons
  M. Kawabe; T. Yanagitani; S. Takayanagi; Y. Shibagak; M. Suzuki; M. Matsukawa
  2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2016, Oral presentation, Tours, France
• Improvement of electromechanical properties in c-axis parallel oriented ZnO film by RF magnetron sputtering with negative ion bombardment
  K. Mori; S. Takayanagi; M. Matsukawa; T. Yanagitani
  2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2016, Oral presentation, Tours, France
• Evaluation of viscous liquid using resonance and anti-resonance of thickness-shear mode resonator consisting of c-axis parallel oriented ZnO film
  R. Iwanaga; S. Takayanagi; Y. Watanabe; M. Matsukawa; T. Tsuchiya; T. Yanagitani
  2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2016, Oral presentation, Tours, France
• Effects of energetic negative ions generated from sputtering targets on ScAlN film growth
  S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
  2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2016, Oral presentation, Tours, France
• High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW in c-axis-parallel-oriented ScAlN film/high-velocity-substrate structures
  S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
  2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2016, Poster presentation, Tours, France
• 超音波照射による軟骨中の誘発電位の検討
  超音波照射による軟骨中の誘発電位の検討
  超音波研究会, Jun. 2016, Oral presentation, 富山
• c軸平行配向ScAlN膜/高音速基板構造を用いたセザワ波の高い電気機械結合係数
  高柳真司; 岡峰生; 松川真美; 柳谷隆彦
  圧電材料・デバイスシンポジウム2016, Feb. 2016, Oral presentation, 仙台
• スパッタターゲットから発生するイオン種がScAlN薄膜の結晶性に及ぼす影響
  高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
  圧電材料・デバイスシンポジウム2016, Feb. 2016, Oral presentation, 仙台
• Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering
  S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
  2015 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct. 2015, Poster presentation, Taipei, Taiwan
• 低圧RFマグネトロンスパッタ法によるｃ軸平行配向ZnO膜の形成とSAW Lamb波デバイスへの応用
  高柳真司; 柳谷隆彦; Jean-Claude Gerbedoen; Abdelkrim Talbi; 松川真美; Philippe Pernod
  電子情報通信学会 超音波研究会, Sep. 2015, Oral presentation, 登別
• スパッタ成膜の高速負イオン照射を用いたc軸平行配向ZnO膜の形成と圧電デバイス応用
  高柳真司; 柳谷隆彦; Jean-Claude Gerbedoen; Abdelkrim Talbi; 松川真美; Philippe Pernod
  第44回EMシンポジウム, Jun. 2015, Oral presentation, 新宿
• Guided acoustic wave devices with in-plane c-axis ZnO films: Experimental and theoretical studies
  S. Takayanagi; A. Talbi; O. Bou Matar; N. Tiercelin; M. Matsukawa; P. Pernod; V. Preobrazhensky
  2015 International Congress on Ultrasonics, May 2015, Oral presentation, Metz, France
• Sezawa mode SAW with high electromechanical coupling at the boundary of polarization-inverted (000-1)/(0001) ZnO, AlN and ScAlN films
  S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
  2014 IEEE International Ultrasonics Symposium, Sep. 2014, Oral presentation, Chicago, USA
• 極性反転ScAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
  第43回EMシンポジウム, Jun. 2014, Oral presentation, 新宿
• 極性反転ZnOおよびAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
  圧電材料・デバイスシンポジウム2014, Jan. 2014, Oral presentation, 仙台
• c軸傾斜および平行配向ScAlN薄膜/基板構造における弾性表面波の高い電気機械結合係数
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
  第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Nov. 2013, Poster presentation, 京都
• 厚み共振を利用した圧電薄膜成長初期における無配向層の厚み評価
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
  2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会, Sep. 2013, Oral presentation, 京田辺
• Experimental and theoretical investigation of guided acoustic wave properties in in-plane c-axis ZnO films
  S. Takayanagi; A. Talbi; O. Bou Matar; N. Tiercelin; M. Matsukawa; P. Pernod; V. Preobrazhensky
  2013 IEEE Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium, Jul. 2013, Poster presentation, Prague, Czech Republic
• Orientation control of ZnO films by highly-energetic positive ion irradiation using RF substrate bias sputtering
  S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
  2013 IEEE Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium, Jul. 2013, Poster presentation, Prague, Czech Republic
• RFバイアススパッタ法により生じる高エネルギー正イオン照射を利用した六方晶系薄膜の配向制御
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
  2013年第60回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2013, Oral presentation, 厚木
• RFバイアススパッタ法による高エネルギー正イオン照射を用いた六方晶系圧電薄膜の配向制御
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
  圧電材料・デバイスシンポジウム2013, Jan. 2013, Oral presentation, 仙台
• c軸傾斜配向ZnO膜/石英基板構造のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数
  高柳真司; 柳谷隆彦; 今村功祐; 生駒遼; 杉本剛士; 松川真美
  第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Nov. 2012, Poster presentation, 千葉
• Fabrication of c-axis parallel oriented AlN and ScAlN films by RF bias sputtering
  S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
  2012 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct. 2012, Oral presentation, Dresden, Germany
• RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向AlN及びScAlN薄膜の形成
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
  2012年第73回応用物理学会秋季学術講演会, Sep. 2012, Oral presentation, 松山
• マグネトロンスパッタ源から生成される高エネルギー負イオン照射によるZnO膜の配向制御
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美; 渡辺好章
  2012年第59回応用物理学関係連合講演会, Mar. 2012, Oral presentation, 新宿
• マグネトロンスパッタ源から生成する高速負イオンを利用したZnO膜の配向制御
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
  圧電材料・デバイスシンポジウム2012, Jan. 2012, Oral presentation, 仙台
• c軸垂直配向と傾斜配向ZnO膜から成る広帯域縦波横波トランスデューサ
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
  第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Nov. 2011, Poster presentation, 京都
• Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11-20) ZnO piezoelectric films
  S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa; Y. Watanabe
  2011 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct. 2011, Poster presentation, Orlando, USA
• 周波数可変RF バイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美; 渡辺好章
  第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, Dec. 2010, Poster presentation, 千代田
• A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10) textured ZnO films by RF bias sputtering
  S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa; Y. Watanabe
  2010 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct. 2010, Oral presentation, San Diego, USA
• RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成～バイアス周波数が配向性に及ぼす影響～
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美; 渡辺好章
  電子情報通信学会 超音波研究会, Sep. 2010, Oral presentation, 仙台
• RFバイアススパッタ法による簡便な(11-20)および(10-10)配向ZnO膜の形成
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美; 渡辺好章
  2010年第57回応用物理学関係連合講演会, Mar. 2010, Oral presentation, 平塚
• RFバイアススパッタ法による簡便な面内配向ZnO薄膜の形成
  高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美; 渡辺好章
  圧電材料・デバイスシンポジウム2010, Jan. 2010, Oral presentation, 仙台

Industrial Property Rights

• Patent right
  薄膜製造法および装置
  柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美, 渡辺好章
  特開2011-157584号

Research Projects

• 横波周回パイプセンサを用いた高感度液体計測システムの開発
  高柳真司
  公益財団法人 日揮・実吉奨学会, 研究助成制度, 2021/10 -2023/09, Principal investigator
• GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測
  柳谷隆彦
  日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 2019/04 -2022/03, Coinvestigator, Competitive research funding
• スパッタ成膜における負イオン照射に基づいた高圧電性ScAlN薄膜の形成技術開発
  高柳真司
  民間財団等, 第35回（平成31年度）公益財団法人村田学術振興財団 研究助成, 2019/04 -2020/03, Principal investigator, Competitive research funding
• 多重周回横波を利用したパイプセンサによる高感度液体計測
  高柳真司
  日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 2018/04 -2020/03, Principal investigator, Competitive research funding, 若手研究(B)
• 横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測
  柳谷隆彦
  日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 2016/04 -2019/03, Competitive research funding, 基盤研究(B)
• 抗原抗体反応検出に向けた液相用薄膜共振子質量センサの開発
  高柳真司
  民間財団等, 公益財団法人永井科学技術財団 平成29年度素形材融合分野奨励金, 2018/03 -2019/02, Principal investigator, Competitive research funding
• 横波型薄膜共振⼦MEMSセンサの信号強度向上に向けたデバイス構造の開発
  高柳真司
  文部科学省, 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業 平成29年度研究設備の試行的利用, 2017/11 -2018/03, Principal investigator, Competitive research funding
• 横波型弾性波の多重周回を用いた液体計測用パイプセンサの開発
  高柳真司
  日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 2015/04 -2017/03, Principal investigator, Competitive research funding, 若手研究(B)
• 横波型薄膜共振子を利用した流路一体型質量センサの開発と抗原抗体反応の高感度検出
  高柳真司
  民間財団等, 第33回（平成27年度）公益財団法人カシオ科学振興財団 研究助成, 2015/12 -2016/11, Principal investigator, Competitive research funding
• 抗原抗体反応の高感度検出を目的とした横波型薄膜共振子MEMSセンサの創製
  高柳真司
  文部科学省, 科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業（次世代研究者育成プログラム）「ナノテクキャリアアップアライアンス」, 2015/01 -2016/03, Principal investigator, Competitive research funding
• マグネトロンスパッタ源から発生する高速負イオンを利用した酸化亜鉛薄膜の結晶配向制御
  高柳真司
  民間財団等, 第30回（平成26年度）公益財団法人村田学術振興財団 研究助成, 2014/04 -2015/03, Principal investigator, Competitive research funding
• RFバイアススパッタ法を用いた六方晶系圧電薄膜の結晶配向制御とc軸平行膜の創製
  高柳真司
  日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 2012/04 -2014/03, Principal investigator, Competitive research funding, 特別研究員奨励費
• RFバイアススパッタ法による結晶配向制御とc軸平行配向圧電薄膜の形成
  高柳真司
  民間財団等, 公益財団法人加藤科学振興会 平成23年度研究奨励金, 2011/04 -2012/03, Principal investigator, Competitive research funding