| 髙柳 真司 |  |
| タカヤナギ シンジ | |
| 生命医科学部医情報学科 | |
| 博士前期課程准教授 |
Last Updated :2025/05/01
研究者情報
researchmap
科研費研究者番号
00735326研究キーワード
研究分野
経歴
- 同志社大学, 生命医科学部 医情報学科, 准教授, 2024年04月 - 現在
- 同志社大学, 生命医科学部 医情報学科, 助教, 2019年04月 - 2024年03月
- 名古屋工業大学, 大学院 おもひ領域, 助教, 2016年04月 - 2019年03月
- 同志社大学, 研究開発推進機構・理工学部, 助教, 2014年04月 - 2016年03月
- 同志社大学, 工学研究科, 日本学術振興会特別研究員, 2012年04月 - 2014年03月
学歴
- 同志社大学, 工学研究科, 電気電子工学専攻, 2011年04月 - 2014年03月
- 同志社大学, 工学研究科, 電気電子工学専攻, 2009年04月 - 2011年03月
- 同志社大学, 工学部, 電子工学科, 2005年04月 - 2009年03月
学位
所属学協会
委員歴
論文
- Characteristics of Shear-Horizontal-Mode Circumferential Waves Propagated in ZnO Films/Silica Glass Pipe Structure under Liquid Load
Sodai Yamaguchi; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium, UFFC-JS 2024 - Proceedings, 2024年, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - Improvement of Shear-Mode Electromechanical Coupling of c-Axis Parallel Oriented ZnO Film by Limiting Particle Irradiation Direction During RF Magnetron Sputtering
Naoki Tomiyama; Taiki Sato; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
2023 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), 2023年09月03日, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - Theoretical investigation of Rayleigh surface acoustic wave propagation characteristics in c-axis-zigzag ScAlN film/silicon substrate structure
Takumi Tominaga; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
Journal of Applied Physics, 133 204502-1 - 204502-10, 2023年05月28日, 研究論文（学術雑誌） - c-Axis-tilted ScAlN films grown on silicon substrates for surface acoustic wave devices
Takumi Tominaga; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
Japanese Journal of Applied Physics, 61(SG), 2022年07月01日, 研究論文（学術雑誌） - Signal Amplification of the Transient Response Measured by the Subnanosecond Pump-Probe Method Based on Surface Plasmon Resonance
Hayato Ichihashi; Shoya Ueno; Takumi Fukunaga; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 69(6) 2152 - 2161, 2022年06月01日, 研究論文（学術雑誌） - Negative-ion bombardment increases during low-pressure sputtering deposition and their effects on the crystallinities and piezoelectric properties of scandium aluminum nitride films
Takumi Tominaga; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
Journal of Physics D: Applied Physics, 55(10), 2022年03月10日, 研究論文（学術雑誌） - Growth of O-Polar and Zn-Polar Ferroelectric MgZnO Thin Films Controlled by Sputtering Geometry
Yohkoh Shiman; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, 2022-October, 2022年, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - Polarization control of scaln, zno and pbtio
3 piezoelectric films: application to polarization-inverted multilayer bulk acoustic wave and surface acoustic wave devices
Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi
Japanese Journal of Applied Physics, 60(SD), 2021年07月 - Preliminary Investigation of Magnetic Resonance Imaging Guided Beamforming in Flexible Type Ultrasonic Array Transducers
Koki Hasegawa; Kengo Namekawa; Shinji Takayanagi; Iwaki Akiyama
Frontiers in Physics, 9, 2021年03月18日, 研究論文（学術雑誌） - C-Axis-Tilted ScAlN Film on Silicon Substrate for Surface Acoustic Wave Device
Takumi Tominaga; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, 2021年, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - メダカ胚プロテオーム解析による発生期の超音波照射影響
西野 嘉晃; 葛 徳; 秋山 いわき; 池川 雅哉; 岩崎 了教; 高柳 真司
超音波医学, (公社)日本超音波医学会, 47(Suppl.) S383 - S383, 2020年11月 - Deterioration in the piezoelectric property of ScAlN thin films by negative ion bombardment increased in low-pressure sputtering deposition
Takumi Tominaga; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, 2020-September, 2020年09月07日, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - Piezoelectric and Inversely Piezoelectric Responses of Bone Tissue Plates in the Megahertz Range
Taiki Makino; Tsukasa Nakamura; Leslie Bustamante; Shinji Takayanagi; Daisuke Koyama; Mami Matsukawa
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 67(8) 1525 - 1532, 2020年08月, 研究論文（学術雑誌） - Effect of negative ions generation from sputtering target on crystalline orientation and kt 2 of ScAlN thin films
Rui Kihara; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), 2019-October 1120 - 1123, 2019年10月, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - Improvement of c-Axis Parallel Orientaition of ZnO film on Silica Glass Pipes with Various Diameters for SH-SAW Pipe Sensor
Takuya Wakabayashi; Shinji Takayanagi; Mami Matukawa; Yuta Takamura; Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), 2019-October 671 - 674, 2019年10月, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - A simple model for the simulation of ultrasonically induced electric potentials
Eliana Samira Stivan; Tsukasa Nakamura; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, 2019-October 525 - 528, 2019年10月, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性 (超音波)
宮田 昌哉; 高柳 真司; 松川 真美; 柳谷 隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 119(152) 33 - 37, 2019年07月29日, 研究論文（学術雑誌） - Design of zinc oxide-based surface acoustic wave sensors using a graphene electrode
Hiroki Ogura; Shinji Takayanagi; Koji Abe; Gemma Rius; Masaki Tanemura
Japanese Journal of Applied Physics, 58(SA), 2019年02月, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - C-Axis Tilted ScAIN Film Shear Mode Resonators for Biosensing
Hana Yazaki; Takumi Soutome; Rei Karasawa; Shinji Takayanagi; Kenji Yoshida; Takahiko Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, 2018-October, 2018年12月17日, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - The Influence of Negative Ions Generation on the Arc-Melted and Hot Press Sintered Scal Alloy Targets to the Crystalline Orientation and k
t 2 of the Scaln Films
Yuka Endo; Rei Karasawa; Shinji Takayanagi; Makoto Imakawa; Keisuke Morisaka; Yu Suzuki; Takahiko Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, 2018-October, 2018年12月17日, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - 石英ガラス管全面へのc軸平行配向ZnO薄膜の成膜 (超音波)
篁 佑太; 高柳 真司; 松川 真美; 柳谷 隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 118(277) 25 - 30, 2018年11月02日, 研究論文（学術雑誌） - Control of hydroxyapatite film orientation by RF magnetron sputtering
Takafumi Kubota; Keishiro Hirata; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
Proceedings of the Annual International Conference of the IEEE Engineering in Medicine and Biology Society, EMBS, 2018-July 4225 - 4228, 2018年10月26日, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - 製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 : 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 (超音波)
唐澤 嶺; 高柳 真司; 遠藤 結佳; 今川 誠; 森坂 啓介; 鈴木 雄; 柳谷 隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 118(229) 37 - 42, 2018年10月04日 - c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出 (超音波)
矢崎 花; 五月女 巧; 唐澤 嶺; 高柳 真司; 吉田 憲司; 柳谷 隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 118(229) 31 - 35, 2018年10月04日 - Rapid Wave Velocity Measurement by Brillouin Scattering Using Coherent Phonons Induced by ScAlN Piezoelectric Thin-Film Transducer
Kawabe, M.; Takayanagi, S.; Ichihashi, H.; Suzuki, M.; Yanagitani, T.; Matsukawa, M.
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 65(10) 1882 - 1887, 2018年10月, 研究論文（学術雑誌） - Highly sensitive detection of photo-thermal transient stress by a sub-nanosecond pump probe with surface plasmon resonance
Ichihashi Hayato; Hayashi Hiromichi; Takayanagi Shinji; Matsukawa Mami; Watanabe Yoshiaki
AIP ADVANCES, 8(10), 2018年10月, 研究論文（学術雑誌） - Ultrasonically-induced electrical potentials in demineralized bovine cortical bone
Shunki Mori; Taiki Makino; Daisuke Koyama; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani; Mami Matsukawa
AIP Advances, 8(4), 2018年04月01日, 研究論文（学術雑誌） - MHz域における皮質骨の逆圧電効果の実験的検討 (超音波)
牧野 大輝; 森 駿貴; 中西 翔子; 小山 大介; 高柳 真司; 松川 真美
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 117(398) 51 - 54, 2018年01月23日 - Film growth of c-axis parallel oriented ZnO on entire surface of silica glass pipe for SH-SAW pipe sensor
Yuta Takamura; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa; Chizu Ishida; Takahiko Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, 2017年10月31日, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - Fabrication of oriented hydroxyapatite film by RF magnetron sputtering
Keishiro Hirata; Takafumi Kubota; Daisuke Koyama; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
AIP ADVANCES, 7(8), 2017年08月, 研究論文（学術雑誌） - コヒーレントフォノン励起を用いたBrillouin散乱法による縦波・横波音速測定の高速化 (超音波)
川部 昌彦; 柳谷 隆彦; 柴垣 慶明; 高柳 真司; 鈴木 雅視; 松川 真美
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 117(155) 71 - 74, 2017年07月27日, 研究論文（学術雑誌） - Evaluation of the acoustoelectric effect in the thickness direction of c-plane ZnO single crystals by Brillouin scattering
Shota Tomita; Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi; Hayato Ichihashi; Yoshiaki Shibagaki; Hiromichi Hayashi; Mami Matsukawa
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 121(23), 2017年06月, 研究論文（学術雑誌） - Effect of anisotropy on stress-induced electrical potentials in bovine bone using ultrasound irradiation
S. Matsukawa; T. Makino; S. Mori; D. Koyama; S. Takayanagi; K. Mizuno; T. Yanagitani; M. Matsukawa
APPLIED PHYSICS LETTERS, 110(14), 2017年04月, 研究論文（学術雑誌） - 骨コラーゲンのMHz域の圧電性に関する実験的検討 (超音波)
森 駿貴; 松川 沙弥果; 寺木 瞳; 高野 幸樹; 坂田 祥崇; 高柳 真司; 松川 真美
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 116(419) 43 - 46, 2017年01月25日 - Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices
Shohei Tokuda; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa; Takahiko Yanagitani
2017 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), 2017年, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - 超音波照射による軟骨中の誘発電位の検討 (超音波)
森 駿貴; 松川 沙弥果; 坂田 祥崇; 眞野 功; 高柳 真司; 松川 真美
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 116(84) 35 - 38, 2016年06月10日 - Acoustic-Wave Velocities and Refractive Indices in an m-Plane GaN Single-Crystal Plate and c-Axis-Oriented ScAlN Films Measured by Brillouin Scattering Techniques
Hayato Ichihashi; Takahiko Yanagitani; Masashi Suzuki; Shinji Takayanagi; Masahiko Kawabe; Shota Tomita; Mami Matsukawa
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL, 63(5) 717 - 725, 2016年05月, 研究論文（学術雑誌） - 広帯域超音波発生のための電気音響変換素子-Thermophone-に関する基礎的検討 (超音波) -- (音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
西岡 卓哉; 高柳 真司; ブルギエール オリヴィエ
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(423) 105 - 110, 2016年01月28日 - 広帯域超音波発生のための電気音響変換素子-Thermophone-に関する基礎的検討 (応用音響) -- (音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
西岡 卓哉; 高柳 真司; ブルギエール オリヴィエ
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(424) 63 - 68, 2016年01月28日 - Rapid and simultaneous measurement of longitudinal and shear wave velocities by Brillouin scattering from artificially induced phonons
Masahiko Kawabe; Yoshiaki Shibagaki; Mami Matsukawa; Takahiko Yanagitani; Masashi Suzuki; Shinji Takayanagi
2016 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), 2016-November, 2016年, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - Effects of energetic negative ions generated from sputtering targets on ScAlN film growth
Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa; Takahiko Yanagitani
2016 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), 2016-November, 2016年, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - Polarization control of ScAlN, ZnO, and PbTiO3 films: Application to polarization inverted multilayer BAW and SAW devices
T. Yanagitani; M. Suzuki; S. Takayanagi
Proceedings of 6th International Symp. on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems, 2015年11月, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱 (超音波)
趙 恩慧; 川部 昌彦; 高柳 真司
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(246) 27 - 30, 2015年10月09日 - 顕微Brillouin散乱法を用いた皮質骨中の音速測定 (超音波)
井本 有紀; 高柳 真司; 斎藤 充
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(207) 43 - 46, 2015年09月03日 - イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数 (超音波)
岡 峰生; 高柳 真司; 柳谷 隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(207) 31 - 35, 2015年09月03日 - 低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW, Lamb波デバイスへの応用 (超音波)
高柳 真司; 柳谷 隆彦; GERBEDOEN Jean-Claude
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(207) 25 - 30, 2015年09月03日 - c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用 (超音波)
日山 彰子; 柳谷 隆彦; 高柳 真司
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報, 電子情報通信学会, 115(207) 19 - 24, 2015年09月03日 - Effects of microstructure and water on the electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation
H. Tsuneda; S. Matsukawa; S. Takayanagi; K. Mizuno; T. Yanagitani; M. Matsukawa
APPLIED PHYSICS LETTERS, 106(7), 2015年02月, 研究論文（学術雑誌） - 非破壊検査用の高分解能超音波プローブ(<小特集>近年の音響トランスデューサの研究と動向)
柳谷 隆彦; 鈴木 雅視; 高柳 真司
日本音響学会誌, 一般社団法人 日本音響学会, 71(5) 230 - 238, 2015年 - Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering
Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa; Takahiko Yanagitani
2015 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), 2015年, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film
Masahiko Kawabe; Hayato Ichihashi; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa; Takahiko Yanagitani; Masashi Suzuki
2015 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), 2015年, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - Gigahertz Acoustic Wave Velocity Measurement in GaN Single Crystals Considering Acousto-Electric Effect
Hayato Ichihashi; Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi; Masahiko Kawabe; Mami Matsukawa
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL, 61(8) 1307 - 1313, 2014年08月, 研究論文（学術雑誌） - Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure
Shoko Hiyama; Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi; Yoshiya Kato; Mami Matsukawa
2014 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), 765 - 768, 2014年, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique
Hayato Ichihashi; Takahiko Yanagitani; Masashi Suzuki; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
2014 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), 2521 - 2524, 2014年, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - A method for predicting thickness of the unoriented layer in ZnO film using piezoelectricity distribution in depth direction
S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 46(31), 2013年08月, 研究論文（学術雑誌） - Effect of metal mode and oxide mode on unusual c-axis parallel oriented ZnO film growth on Al/glass substrate in a reactive magnetron sputtering of Zn target
Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani; Mami Matsukawa
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 363 22 - 24, 2013年01月, 研究論文（学術雑誌） - High-performance brillouin spectroscopy of phonons induced by a piezoelectric thin film with a coaxial microwave resonator
Hiroyuki Sano; Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi; Takeshi Sugimoto; Mami Matsukawa
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 60(5) 873 - 876, 2013年, 研究論文（学術雑誌） - Unusual growth of polycrystalline oxide film induced by negative ion bombardment in the capacitively coupled plasma deposition
S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
APPLIED PHYSICS LETTERS, 101(23), 2012年12月, 研究論文（学術雑誌） - RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた極性反転ZnO薄膜の作製 (超音波)
生駒 遼; 柳谷 隆彦; 高柳 真司; 鈴木 雅視; 小田川 裕之; 松川 真美
電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報, 一般社団法人電子情報通信学会, 112(213) 21 - 25, 2012年09月24日 - Wideband Multimode Transducer Consisting of c-Axis Tilted ZnO/c-Axis Normal ZnO Multilayer
Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani; Mami Matsukawa
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51(7), 2012年07月, 研究論文（学術雑誌） - Measurement of Wave Velocity in Cortical Bone by Micro-Brillouin Scattering Technique: Effect of Bone Tissue Properties
Kenji Fukui; Shinji Takayanagi; Daisuke Suga; Mami Matsukawa
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51(7), 2012年07月, 研究論文（学術雑誌） - Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons
Takeshi Sugimoto; Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
2012 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), 2012年, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - ZnO圧電薄膜によるGHz域の励起フォノンを利用した高速 Brillouin 散乱測定
杉本 剛士; 佐野 広幸; 柳谷 隆彦; 高柳 真司; 松川 真美
電子情報通信学会技術研究報告. US, 超音波, 一般社団法人電子情報通信学会, 111(158) 15 - 19, 2011年07月21日 - c-Axis Zig-Zag ZnO Film Ultrasonic Transducers for Designing Longitudinal and Shear Wave Resonant Frequencies and Modes
Takahiko Yanagitani; Naoki Morisato; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa; Yoshiaki Watanabe
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL, 58(5) 1062 - 1068, 2011年05月, 研究論文（学術雑誌） - Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11(2)over-bar0) texture formation in ZnO films
Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani; Mami Matsukawa; Yoshiaki Watanabe
2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), 2317 - 2320, 2011年, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - Brillouin scattering from induced phonons excited by the ZnO piezoelectric thin film with a coaxial resonator
Takeshi Sugimoto; Hiroyuki Sano; Takahiko Yanagitani; Shinji Takayanagi; Mami Matsukawa
2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), 1099 - 1102, 2011年, 研究論文（国際会議プロシーディングス） - Brillouin 散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測
佐野 広幸; 柳谷 隆彦; 高柳 真司; 松川 真美
電子情報通信学会技術研究報告. US, 超音波, 一般社団法人電子情報通信学会, 110(213) 99 - 103, 2010年09月22日 - RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 : バイアス周波数が配向性に及ぼす影響
高柳 真司; 柳谷 隆彦; 松川 真美; 渡辺 好章
電子情報通信学会技術研究報告. US, 超音波, 一般社団法人電子情報通信学会, 110(213) 75 - 80, 2010年09月22日 - ウシ左右大腿骨皮質骨中の特徴的な3次元音速異方性 : 最大音速方向の骨軸からのずれについて
中辻 知宏; 山本 和史; 高柳 真司; 柳谷 隆彦; 松川 真美; 山崎 薫
電子情報通信学会技術研究報告. US, 超音波, 一般社団法人電子情報通信学会, 110(213) 63 - 68, 2010年09月22日 - c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用
守里 直希; 高柳 真司; 柳谷 隆彦; 松川 真美; 渡辺 好章
電子情報通信学会技術研究報告. US, 超音波, 一般社団法人電子情報通信学会, 109(213) 53 - 58, 2009年09月22日
MISC
- 低圧スパッタ法により増大する負イオン照射がScAIN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響 (特集 圧電材料の研究と応用)
冨永 卓海; 髙柳 真司; 柳谷 隆彦
超音波techno, 日本工業出版, 32(5) 17 - 22, 2020年09月 - 圧電・超音波材料 スパッタ成膜中にSc金属から発生する高速負イオンがScAlN薄膜の圧電性に及ぼす影響
高柳 真司; 柳谷 隆彦
超音波techno, 日本工業出版, 30(6) 68 - 72, 2018年11月 - Q&Aコーナー(コーヒーブレーク)
高柳 真司
日本音響学会誌, 一般社団法人 日本音響学会, 71(5) 261 - 261, 2015年 - 圧電・超音波材料 RFバイアススパッタ法による簡便なc軸平行配向ZnO膜の形成--RFバイアスを用いたイオン照射による結晶配向制御
高柳 真司; 松川 真美; 渡辺 好章
超音波techno, 日本工業出版, 23(2) 59 - 62, 2011年03月 - 超音波デバイス c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用
守里 直希; 高柳 真司; 松川 真美
超音波techno, 日本工業出版, 22(5) 60 - 65, 2010年09月
講演・口頭発表等
- SAW デバイスへの応用に向けて Si 基板上に成長させた c 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜
冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
第42回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2021年10月, ポスター発表, オンライン - MRI を用いた膵臓ファントムの作成とそのマルチモダリティイメージング
上野慧; 川口達也; 高柳真司; 秋山いわき
日本超音波医学会 第 48 回関西地方会学術集会, 2021年10月, 口頭発表（一般）, 京都 - 超音波照射単一メダカ胚のプロテオーム解析 -SWATH 法による変動タンパク質特定の試み -
上地貴大; 西野嘉晃; 池川雅哉; 岩崎了教; 葛徳; 上野智弘; 日下部りえ; 吉岡正裕; 高柳真司; 秋山いわき
日本超音波医学会 第 48 回関西地方会学術集会, 2021年10月, 口頭発表（一般）, 京都 - ジグザク配向 ScAlN 薄膜/Si 基板構造におけるレイリー波の伝搬特性解析
冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
第50回ＥＭシンポジウム, 2021年09月, 口頭発表（一般）, オンライン - SAWデバイスに向けたc軸傾斜配向ScAlN薄膜/Si基板構造の作製
冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
第82回応用物理学会秋期学術講演会, 2021年09月, ポスター発表, オンライン - c-Axis-Tilted ScAlN Film on Silicon Substrate for Surface Acoustic Wave Device
T. Tominaga; S. Takayanagi; T. Yanagitani
2021 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2021年09月, ポスター発表, Online - 超音波照射メダカ胚のプロテオーム網羅解析
高柳真司; 西野嘉晃; 池川雅哉; 岩崎了教; 葛徳; 上地貴大; 上野智弘; 日下部りえ; 吉岡正裕; 秋山いわき
日本超音波医学会第94回学術集会, 2021年05月, 口頭発表（一般）, 神戸 - 超音波とMRの同時撮像による肺のマルチモダリティイメージング
川口達也; 高柳真司; 城田奏馬; 長谷川昂紀; 秋山いわき
日本超音波医学会第94回学術集会, 2021年05月, 口頭発表（一般）, 神戸 - MRと超音波の同時撮像による超音波ビームの補正
長谷川昂紀; 高柳真司; 山口祐平; 宮城友希乃; 川口達也; 秋山いわき
日本超音波医学会第94回学術集会, 2021年05月, 口頭発表（一般）, 神戸 - 円管構造SH-SAWセンサに向けたc軸平行配向ZnO薄膜の石英ガラス管への成膜
若林拓也; 高柳真司; 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2021, 2021年01月, 口頭発表（一般）, オンライン - 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射とScAlN薄膜の結晶性および圧電性の劣化
冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2021, 2021年01月, 口頭発表（一般）, オンライン - 基板へのイオン照射を抑制したスパッタ法によるZnO薄膜形成と結晶性および圧電性への影響
富永浩平; 高柳真司; 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2021, 2021年01月, 口頭発表（一般）, オンライン - メダカ胚プロテオーム解析による発生期の超音波照射影響
西野嘉晃; 葛徳; 秋山いわき; 池川雅哉; 岩崎了教; 高柳真司
日本超音波医学会第93回学術集会, 2020年11月, 口頭発表（一般）, オンライン - 円管構造SH-SAWセンサに向けたc軸平行配向ZnO薄膜の石英ガラス管回転成膜
若林拓也; 高柳真司; 柳谷隆彦
第41回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2020年11月, ポスター発表, オンライン - 低圧スパッタ成膜において増大する負イオン照射がScAlN薄膜の圧電性に及ぼす影響
冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
第41回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2020年11月, 口頭発表（一般）, オンライン - スパッタ成膜中に基板へ照射されるイオンの抑制をしたZnO薄膜の形成と圧電性への影響
富永浩平; 高柳真司; 柳谷隆彦
第41回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2020年11月, ポスター発表, オンライン - 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響
冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
超音波研究会, 2020年11月, 口頭発表（一般）, 豊田 - Effect of negative-ion-bombardment suppression by applying voltage to grids set between substrate and sputtering target during sputtering deposition on crystalline orientation of ZnO film
K. Tominaga; S. Takayanagi; T. Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2020年09月, ポスター発表, Online - Measurement of time response of electrical properties in thickness shear mode resonator with liquid loadings
M Watabe; S. Takayanagi; T. Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2020年09月, ポスター発表, Online - Deterioration in the piezoelectric property of ScAlN thin films by negative ion bombardment increased in low-pressure sputtering deposition
T. Tominaga; S. Takayanagi; T. Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2020年09月, ポスター発表, Online - Improvement of crystallization and shear-mode electromechanical coupling of c-axis-paralleloriented ZnO film by annealing treatment
S. Takayanagi; K. Kimoto; T. Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2020年09月, ポスター発表, Online - 低圧スパッタによる負イオン照射の増大とScAlN薄膜の圧電性の劣化
冨永卓海; 高柳真司; 柳谷隆彦
第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月, 口頭発表（一般）, 千代田 - 熱処理によるc軸平行配向ZnO膜のすべりモード電気機械結合係数の向上
紀本佳苗; 高柳真司; 柳谷隆彦
第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月, ポスター発表, 千代田 - スパッタターゲットから飛来する高速負イオンの照射抑制による ScAlN 薄膜の圧電性向上
高柳真司; 木原流唯; 柳谷隆彦
第40回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2019年11月, 口頭発表（一般）, 千代田 - Improvement of crystalline orientation and kt 2 of ScAlN thin films by suppression of negative ions generation from sputtering target
R. Kihara; S. Takayanagi; T. Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2019年10月, 口頭発表（一般）, Glasgow, UK - Improvement of C-Axis parallel orientation of ZnO film on silica glass pipes with various diameters for SH-SAW pipe sensor
T. Wakabayashi; S. Takayanagi; Y. Takamura; M. Matsukawa; T. Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2019年10月, ポスター発表, Glasgow, UK - マグネトロンスパッタにより作製した酸化チタン薄膜の結晶構造及び光学・電子物性の評価
デシュムク ラフール; 本田 光裕; 安部 功二; 後藤 敬典; 高柳 真司; 堀尾 吉巳; 市川 洋
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月, 口頭発表（一般）, 札幌 - スパッタ成膜中の負イオン照射測定に基づいた高圧電性ScAlN薄膜の形成
富永 浩平; 高柳 真司; 柳谷 隆彦
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月, ポスター発表, 札幌 - ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性
宮田昌哉; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
超音波研究会, 2019年07月, 口頭発表（一般）, 札幌 - 溶融および焼結ScAl合金ターゲットを用いた高品質なScAlN薄膜の作製
白 寧蕊; 唐澤 嶺; 高柳 真司; 今川 誠; 森坂 啓介; 鈴木 雄; 柳谷 隆彦
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019年03月, 口頭発表（一般）, 目黒 - SH型SAWパイプセンサの作製に向けた石英ガラス管へのc軸平行配向ZnO膜の形成
篁佑太; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019年03月, ポスター発表, 目黒 - スパッタ成膜中の負イオン照射抑制によるScAlN薄膜の圧電性向上
高柳真司; 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2019, 2019年01月, 口頭発表（一般）, 仙台 - Design and performance testing of zinc oxide based surface acoustic wave devices
G. Rius; J. Sacristan; H. Ogura; S. Takayanagi; K. Abe; M. Tanemura
the 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018), 2018年11月, ポスター発表, Sapporoo, Japan - グラフェン電極による酸化亜鉛薄膜の弾性表面波特性
小椋 裕生; 加藤 優希; 高柳 真司; 安部 功二; G. Rius; 種村 眞幸
第6回応用物理学会名古屋大学スチューデントチャプター東海地区学術講演会, 2018年11月, ポスター発表, 名古屋 - スパッタ成膜中のイオン照射を利用した酸化物薄膜の結晶配向制御と薄膜応用デバイス
高柳真司
新無機膜研究会第86回研究会, 2018年11月, 口頭発表（一般）, 名古屋 - SnOスパッタ膜特性の成膜酸素分圧の影響
山田拓哉; 彦坂透磨; 高柳真司; 本田光裕; 市川洋
2018年日本表面真空学会学術講演会, 2018年11月, 口頭発表（一般）, 神戸 - 石英ガラス管全面へのc軸平行配向ZnO薄膜の成膜
篁佑太; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
超音波研究会, 2018年11月, 口頭発表（一般）, 豊田 - c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出
矢崎花; 五月女巧; 唐澤嶺; 高柳真司; 吉田憲司; 柳谷隆彦
超音波研究会, 2018年10月, 口頭発表（一般）, 仙台 - 製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ～電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較～
唐澤嶺; 高柳真司; 遠藤結佳; 今川誠; 森坂啓介; 鈴木雄; 柳谷隆彦
超音波研究会, 2018年10月, 口頭発表（一般）, 仙台 - High sensitivity sub-nanosecond pump probe measurement with surface plasmon resonance
H. Ichihashi; H. Hayashi; S. Takayanagi; M. Matsukawa
2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2018年10月, 口頭発表（一般）, 神戸 - Ultrasound radiation from bovine cortical bone
T. Makino; M. Kuraoka; D. Koyama; S. Takayanagi; M. Matsukawa
2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2018年10月, ポスター発表, 神戸 - Evaluation of frequency shifts in thickness-shear mode resonator consisting of c-axis parallel oriented ZnO film for viscosity measurement
M. Miyata; S. Takayanagi; M. Matsukawa; T. Yanagitani
2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2018年10月, ポスター発表, 神戸 - c-axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing
H. Yazaki; T. Sotome; S. Takayanagi; K. Yoshida; T. Yanagitani
2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2018年10月, 口頭発表（一般）, 神戸 - The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films
Y. Endo; R. Karasawa; S. Takayanagi; M. Imakawa; K. Morisaka; Y. Suzuki; T. Yanagitani
2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2018年10月, ポスター発表, 神戸 - Improvement of crystalline orientation and electromechanical coupling in ScAlN film in view of negative ion bombardment during sputtering deposition
S. Takayanagi; T. Yanagitani
2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2018年10月, 口頭発表（一般）, 神戸 - 溶融及び焼結ScAl合金ターゲットからの負イオン照射がScAlN薄膜成長へ及ぼす影響
遠藤結佳; 唐澤嶺; 高柳真司; 今川誠; 森坂啓介; 鈴木雄; 柳谷隆彦
第39回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2018年10月, ポスター発表, 京都 - 皮質骨から放射される縦波超音波
牧野大輝; 中村司; L. Bustamante; 小山大介; 高柳真司; 松川真美
第39回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2018年10月, ポスター発表, 京都 - c軸傾斜配向すべりモードScAlN薄膜共振子を用いた生体反応検出
矢崎花; 五月女巧; 唐澤嶺; 高柳真司; 吉田憲司; 柳谷隆彦
第39回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2018年10月, ポスター発表, 京都 - グラフェン電極を利用した酸化亜鉛/石英ガラス基板の弾性波特性
小椋 裕生; 高柳 真司; 安部 功二; G. Rius; 種村 眞幸
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018年09月, ポスター発表, 名古屋 - 金属ターゲットから作製したSn-Oスパッタ膜の特性
山田拓哉; 彦坂透磨; 高柳真司; 本田光裕; 市川洋
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018年09月, 口頭発表（一般）, 名古屋 - Influence of negative ions generation on the quality of ScAlN films grown by sputtering targets with different concentration of oxygen and carbon
Y. Endo; R. Karasawa; S. Takayanagi; M. Imakawa; K. Morisaka; Y. Suzuki; T. Yanagitani
International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2018), 2018年09月, ポスター発表, 神戸 - Control of hydroxyapatite film orientation by RF magnetron sputtering
T. Kubota; K. Hirata; S. Takayanagi; M. Matsukawa
40th International Conference of the IEEE Engineering in Medicine and Biology Society, 2018年07月, ポスター発表, Honolulu, Hawaii, USA - c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN 薄膜共振子を用いた生体高分子反応の検出
矢崎花; 唐澤嶺; 吉田憲司; 高柳真司; 柳谷隆彦
第47回EM シンポジウム, 2018年06月, 口頭発表（一般）, 新宿 - 溶融および焼結ScAl 合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN 薄膜の成長に及ぼす影響
唐澤嶺; 遠藤結佳; 高柳真司; 今川誠; 森坂啓介; 鈴木雄; 柳谷隆彦
第47回EM シンポジウム, 2018年06月, 口頭発表（一般）, 新宿 - サブナノ秒ポンプ・プローブ分光計測手法の開発
林弘通; 市橋隼人; 高柳真司; 松川真美
第61回光波センシング技術研究会講演会, 2018年06月, 口頭発表（一般）, 新宿 - Sub-nanosecond pump probe measurement in a Au/Cr bimetal film
H. Ichihashi; H. Hayashi; S. Takayanagi; M. Matsukawa
The 7th Asia-Pacific Optical Sensors Conference, 2018年05月, 口頭発表（一般）, Matsue, Shimane, Japan - Design and fabrication of ZnO-based SAW sensors
H. Ogura; S. Takayanagi; K. Abe; G. Rius; M. Tanemura
ISPlasma2018/IC-PLANTS2018, 2018年03月, ポスター発表, Nagoya, Japan - 分子間相互作用の検出に向けた圧電MEMSセンサの開発
高柳真司
文部科学省 平成29年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウム, 2018年03月, 口頭発表（一般）, 文京区 - スパッタ成膜中にSc金属から発生した負イオンの照射によるScAlN薄膜の結晶配向性および圧電性の劣化
高柳真司; 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018, 2018年02月, 口頭発表（一般）, 仙台 - 厚みすべりモード薄膜共振子の液体負荷時における周波数変化及び減衰の検討
岩永陸弥; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018, 2018年02月, 口頭発表（一般）, 仙台 - サファイア基板上への高角度c軸傾斜ScAlN膜の作製と弾性表面波伝搬特性
徳田翔平; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018, 2018年02月, 口頭発表（一般）, 仙台 - MHz域における皮質骨の逆圧電効果の実験的検討
牧野大輝; 森駿貴; 中西翔子; 小山大介; 高柳真司; 松川真美
超音波研究会, 2018年01月, ポスター発表, 京都 - Theoretical and experimental study of c-axis-tilted ScAlN / sapphire for SAW devices with high electromechanical coupling
S. Tokuda; S. Takayanagi; M. Matsukawa; T. Yanagitani
2017 International Congress on Ultrasonics, 2017年12月, 口頭発表（一般）, Honolulu, USA - Frequency characteristics of thickness-shear mode BAW resonator consisting of c-axis parallel oriented ZnO film for liquid viscosity measurement
R. Iwanaga; S. Takayanagi; M. Matsukawa; T. Yanagitani
2017 International Congress on Ultrasonics, 2017年12月, ポスター発表, Honolulu, USA - Study of shear mode acoustic wave devices with c-axis parallel oriented ZnO film to measure the liquid loading properties
K. Mori; S. Takayanagi; M. Matsukawa; T. Yanagitani
2017 International Congress on Ultrasonics, 2017年12月, ポスター発表, Honolulu, USA - Rapid and simple measurement of hypersonic wave velocity by Brillouin scattering with induced phonons
Y. Shibagaki; S. Takayanagi; M. Kawabe; T. Yanagitani; M. Suzuki; M. Matsukawa
174th Meeting of the Acoustical Society of America, 2017年12月, 口頭発表（一般）, New Orleans, USA - 横波超音波照射下における皮質骨中誘発電位の検討
牧野大輝; 高野幸樹; 中西翔子; 小山大介; 高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
第38回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2017年10月, ポスター発表, 多賀城 - 高い電気機械結合係数を持つSAWデバイスに向けたc軸傾斜ScAlN膜／サファイア基板の作製
徳田翔平; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
第38回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2017年10月, ポスター発表, 多賀城 - c軸平行配向ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の液体負荷特性
岩永陸弥; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
第38回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2017年10月, ポスター発表, 多賀城 - 励起フォノンを用いたBrillouin散乱計測の高速化
柴垣慶明; 川部昌彦; 高柳真司; 柳谷隆彦; 鈴木雅視; 徳田翔平; 松川真美
第38回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2017年10月, ポスター発表, 多賀城 - 電気機械特性の向上に向けたRFスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の作製
盛一馬; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
第38回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2017年10月, ポスター発表, 多賀城 - スパッタ成膜中にSc金属から発生する高速負イオンがScAlN薄膜の圧電性に及ぼす影響
高柳真司; 柳谷隆彦
第38回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2017年10月, 口頭発表（一般）, 多賀城 - c軸平行配向ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子における液体負荷時の周波数特性
岩永陸弥; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017年09月, 口頭発表（一般）, 福岡 - ScAlN薄膜トランスデューサを用いたBrillouin散乱法の簡略化
柴垣慶明; 川部昌彦; 高柳真司; 柳谷隆彦; 鈴木雅視; 松川真美
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017年09月, ポスター発表, 福岡 - Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices
S. Tokuda; S. Takayanagi; M. Matsukawa; T. Yanagitani
2017 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2017年09月, ポスター発表, Washington, D.C., USA - Film growth of c-axis parallel oriented ZnO on entire surface of silica glass pipe for SH-SAW pipe sensor
Y. Takamura; S. Takayanagi; M. Matsukawa; C. Ishida; T. Yanagitani
2017 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2017年09月, 口頭発表（一般）, Washington, D.C., USA - Effects of negative oxygen ions generated during Sc ingot sputtering on electromechanical coupling of ScAlN film
S. Takayanagi; T. Yanagitani
2017 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2017年09月, 口頭発表（一般）, Washington, D.C., USA - コヒーレントフォノン励起を用いたBrillouin散乱法による縦波・横波音速測定 の高速化
川部昌彦; 柳谷隆彦; 柴垣慶明; 高柳真司; 鈴木雅視; 松川真美
電子情報通信学会 超音波研究会, 2017年07月, 口頭発表（一般）, 岡山 - 横波超音波照射下における皮質骨の誘発電位の検討
牧野大輝; 高野幸樹; 中西翔子; 松川沙弥果; 高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
第37回日本骨形態計測学会, 2017年06月, 口頭発表（一般）, 吹田 - Ultrasonically induced electrical potentials in bovine cortical bone
T. Makino; K. Takano; T. Kubota; S. Matsukawa; S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
21st International Bone Densitometry Workshop/7th European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone, 2017年06月, ポスター発表, Bad Staffelstein, Germany - ブタ大腿骨皮質骨中における超音波誘発電位の評価
牧野大輝; 松川沙弥果; 小山大介; 高柳真司; 水野勝紀; 柳谷隆彦; 松川真美
日本音響学会2017年春季研究発表会, 2017年03月, 口頭発表（一般）, 川崎 - 縦波・横波の超音波伝搬時における骨中誘発電位の検討
松川沙弥果; 牧野大輝; 小山大介; 高柳真司; 水野勝紀; 柳谷隆彦; 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2017, 2017年02月, 口頭発表（一般）, 仙台 - RFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ZnO膜の圧電不活性層低 減に関する検討
盛一馬; 高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2017, 2017年02月, 口頭発表（一般）, 仙台 - 骨, コラーゲンのMHz域の圧電性に関する実験的検討
森駿貴; 松川沙弥果; 寺木瞳; 高野幸樹; 坂田祥崇; 高柳真司; 松川真美
電子情報通信学会 超音波研究会, 2017年01月, ポスター発表, 京都 - 励起フォノンを用いたBrillouin散乱測定の高速化に関する検討
柴垣慶明; 川部昌彦; 柳谷隆彦; 高柳真司; 鈴木雅視; 松川真美
第58回光波センシング技術研究会, 2016年12月, 口頭発表（一般）, 新宿 - Evaluation of piezoelectricity in bone by ultrasound irradiation
S. Matsukawa; S.Mori; D. Koyama; S. Takayanagi; K. Mizuno; T. Yanagitani; M. Matsukawa
The 37th Symposium on UltraSonic Electronics (USE2016), 2016年11月, ポスター発表, Pusan, Korea - Ultrasonically induced electric potentials in extracted collagen from cortical bone
S. Mori; S. Matsukawa; M. Kawase; S. Takayanagi; M. Matsukawa
The 37th Symposium on UltraSonic Electronics (USE2016), 2016年11月, ポスター発表, Pusan, Korea - Piezoelectric stiffening in the thickness direction of c-plane ZnO single crystal measured by Brillouin scattering
S. Tomita; T. Yanagitani; S. Takayanagi; M. Matsukawa
The 37th Symposium on UltraSonic Electronics (USE2016), 2016年11月, ポスター発表, Pusan, Korea - Induced electric potential in cortical bone and cartilage by ultrasound irradiation
S. Mori; S. Matsukawa; M. Kawase; S. Takayanagi; M. Matsukawa
5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan, 2016年11月, 口頭発表（一般）, Honolulu, USA - Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using artificially induced phonon
Y. Shibagaki; M. Kawabe; S. Takayanagi; K. Mori; T. Yanagitan; M. Matsukawa
5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan, 2016年11月, 口頭発表（一般）, Honolulu, USA - Broadband ultrasound emission from a three-layer thermo-acoustic transducer
O. Y. Burguiere; S. Takayanagi; M. Matsukawa; S.Hiryu
5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan, 2016年11月, 口頭発表（一般）, Honolulu, USA - Liquid loading characteristics of multiple SH-wave roundtrip in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe
S. Takayamagi; S. Hiyama; M. Matsukawa; T. Yanagitani; M. Matsukawa
5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan, 2016年11月, 口頭発表（一般）, Honolulu, USA - High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW using a polarization-inverted ScAlN film/highvelocity substrate structure
S. Takayanagi; T. Yanagitani
The 37th Symposium on UltraSonic Electronics (USE2016), 2016年11月, ポスター発表, Pusan, Korea - ScAlN薄膜トランスデューサを用いた縦波・横波のブリュアン散乱光の同時増幅
柴垣慶明; 川部昌彦; 柳谷隆彦; 高柳真司; 鈴木雅視; 松川真美
日本音響学会2016年秋季研究発表会, 2016年09月, 口頭発表（一般）, 富山 - Brillouin scattering study on piezoelectric stiffening effect in the thickness direction of c-plane ZnO single crystal
S. Tomita; T. Yanagitani; S. Takayanagi; H. Ichihashi; M. Matsukawa
2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2016年09月, ポスター発表, Tours, France - Anisotropic behavior of induced electric potentials in bone by ultrasound irradiation
S. Matsukawa; S.Mori; I. Mano; T. Yanagitani; K. Mizuno; S. Takayanagi; M. Matsukawa
2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2016年09月, 口頭発表（一般）, Tours, France - Rapid and simultaneous measurement of longitudinal and shear wave velocities by Brillouin scattering from artificially induced phonons
M. Kawabe; T. Yanagitani; S. Takayanagi; Y. Shibagak; M. Suzuki; M. Matsukawa
2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2016年09月, 口頭発表（一般）, Tours, France - Improvement of electromechanical properties in c-axis parallel oriented ZnO film by RF magnetron sputtering with negative ion bombardment
K. Mori; S. Takayanagi; M. Matsukawa; T. Yanagitani
2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2016年09月, 口頭発表（一般）, Tours, France - Evaluation of viscous liquid using resonance and anti-resonance of thickness-shear mode resonator consisting of c-axis parallel oriented ZnO film
R. Iwanaga; S. Takayanagi; Y. Watanabe; M. Matsukawa; T. Tsuchiya; T. Yanagitani
2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2016年09月, 口頭発表（一般）, Tours, France - Effects of energetic negative ions generated from sputtering targets on ScAlN film growth
S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2016年09月, 口頭発表（一般）, Tours, France - High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW in c-axis-parallel-oriented ScAlN film/high-velocity-substrate structures
S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
2016 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2016年09月, ポスター発表, Tours, France - 超音波照射による軟骨中の誘発電位の検討
超音波照射による軟骨中の誘発電位の検討
超音波研究会, 2016年06月, 口頭発表（一般）, 富山 - c軸平行配向ScAlN膜/高音速基板構造を用いたセザワ波の高い電気機械結合係数
高柳真司; 岡峰生; 松川真美; 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016, 2016年02月, 口頭発表（一般）, 仙台 - スパッタターゲットから発生するイオン種がScAlN薄膜の結晶性に及ぼす影響
高柳真司; 松川真美; 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016, 2016年02月, 口頭発表（一般）, 仙台 - Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering
S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
2015 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2015年10月, ポスター発表, Taipei, Taiwan - 低圧RFマグネトロンスパッタ法によるｃ軸平行配向ZnO膜の形成とSAW Lamb波デバイスへの応用
高柳真司; 柳谷隆彦; Jean-Claude Gerbedoen; Abdelkrim Talbi; 松川真美; Philippe Pernod
電子情報通信学会 超音波研究会, 2015年09月, 口頭発表（一般）, 登別 - スパッタ成膜の高速負イオン照射を用いたc軸平行配向ZnO膜の形成と圧電デバイス応用
高柳真司; 柳谷隆彦; Jean-Claude Gerbedoen; Abdelkrim Talbi; 松川真美; Philippe Pernod
第44回EMシンポジウム, 2015年06月, 口頭発表（一般）, 新宿 - Guided acoustic wave devices with in-plane c-axis ZnO films: Experimental and theoretical studies
S. Takayanagi; A. Talbi; O. Bou Matar; N. Tiercelin; M. Matsukawa; P. Pernod; V. Preobrazhensky
2015 International Congress on Ultrasonics, 2015年05月, 口頭発表（一般）, Metz, France - Sezawa mode SAW with high electromechanical coupling at the boundary of polarization-inverted (000-1)/(0001) ZnO, AlN and ScAlN films
S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
2014 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2014年09月, 口頭発表（一般）, Chicago, USA - 極性反転ScAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
第43回EMシンポジウム, 2014年06月, 口頭発表（一般）, 新宿 - 極性反転ZnOおよびAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2014, 2014年01月, 口頭発表（一般）, 仙台 - c軸傾斜および平行配向ScAlN薄膜/基板構造における弾性表面波の高い電気機械結合係数
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2013年11月, ポスター発表, 京都 - 厚み共振を利用した圧電薄膜成長初期における無配向層の厚み評価
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会, 2013年09月, 口頭発表（一般）, 京田辺 - Experimental and theoretical investigation of guided acoustic wave properties in in-plane c-axis ZnO films
S. Takayanagi; A. Talbi; O. Bou Matar; N. Tiercelin; M. Matsukawa; P. Pernod; V. Preobrazhensky
2013 IEEE Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium, 2013年07月, ポスター発表, Prague, Czech Republic - Orientation control of ZnO films by highly-energetic positive ion irradiation using RF substrate bias sputtering
S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
2013 IEEE Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium, 2013年07月, ポスター発表, Prague, Czech Republic - RFバイアススパッタ法により生じる高エネルギー正イオン照射を利用した六方晶系薄膜の配向制御
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
2013年第60回応用物理学会春季学術講演会, 2013年03月, 口頭発表（一般）, 厚木 - RFバイアススパッタ法による高エネルギー正イオン照射を用いた六方晶系圧電薄膜の配向制御
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2013, 2013年01月, 口頭発表（一般）, 仙台 - c軸傾斜配向ZnO膜/石英基板構造のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数
高柳真司; 柳谷隆彦; 今村功祐; 生駒遼; 杉本剛士; 松川真美
第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2012年11月, ポスター発表, 千葉 - Fabrication of c-axis parallel oriented AlN and ScAlN films by RF bias sputtering
S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa
2012 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2012年10月, 口頭発表（一般）, Dresden, Germany - RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向AlN及びScAlN薄膜の形成
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
2012年第73回応用物理学会秋季学術講演会, 2012年09月, 口頭発表（一般）, 松山 - マグネトロンスパッタ源から生成される高エネルギー負イオン照射によるZnO膜の配向制御
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美; 渡辺好章
2012年第59回応用物理学関係連合講演会, 2012年03月, 口頭発表（一般）, 新宿 - マグネトロンスパッタ源から生成する高速負イオンを利用したZnO膜の配向制御
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2012, 2012年01月, 口頭発表（一般）, 仙台 - c軸垂直配向と傾斜配向ZnO膜から成る広帯域縦波横波トランスデューサ
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美
第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2011年11月, ポスター発表, 京都 - Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11-20) ZnO piezoelectric films
S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa; Y. Watanabe
2011 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2011年10月, ポスター発表, Orlando, USA - 周波数可変RF バイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美; 渡辺好章
第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム, 2010年12月, ポスター発表, 千代田 - A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10) textured ZnO films by RF bias sputtering
S. Takayanagi; T. Yanagitani; M. Matsukawa; Y. Watanabe
2010 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2010年10月, 口頭発表（一般）, San Diego, USA - RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成～バイアス周波数が配向性に及ぼす影響～
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美; 渡辺好章
電子情報通信学会 超音波研究会, 2010年09月, 口頭発表（一般）, 仙台 - RFバイアススパッタ法による簡便な(11-20)および(10-10)配向ZnO膜の形成
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美; 渡辺好章
2010年第57回応用物理学関係連合講演会, 2010年03月, 口頭発表（一般）, 平塚 - RFバイアススパッタ法による簡便な面内配向ZnO薄膜の形成
高柳真司; 柳谷隆彦; 松川真美; 渡辺好章
圧電材料・デバイスシンポジウム2010, 2010年01月, 口頭発表（一般）, 仙台
産業財産権
共同研究・競争的資金等の研究課題
- 横波周回パイプセンサを用いた高感度液体計測システムの開発
高柳真司
公益財団法人 日揮・実吉奨学会, 研究助成制度, 2021年10月 -2023年09月, 研究代表者 - GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測
柳谷隆彦
日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 2019年04月 -2022年03月, 研究分担者, 競争的資金 - スパッタ成膜における負イオン照射に基づいた高圧電性ScAlN薄膜の形成技術開発
高柳真司
民間財団等, 第35回（平成31年度）公益財団法人村田学術振興財団 研究助成, 2019年04月 -2020年03月, 研究代表者, 競争的資金 - 多重周回横波を利用したパイプセンサによる高感度液体計測
高柳真司
日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 2018年04月 -2020年03月, 研究代表者, 競争的資金, 若手研究(B) - 横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測
柳谷隆彦
日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 2016年04月 -2019年03月, 競争的資金, 基盤研究(B) - 抗原抗体反応検出に向けた液相用薄膜共振子質量センサの開発
高柳真司
民間財団等, 公益財団法人永井科学技術財団 平成29年度素形材融合分野奨励金, 2018年03月 -2019年02月, 研究代表者, 競争的資金 - 横波型薄膜共振⼦MEMSセンサの信号強度向上に向けたデバイス構造の開発
高柳真司
文部科学省, 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業 平成29年度研究設備の試行的利用, 2017年11月 -2018年03月, 研究代表者, 競争的資金 - 横波型弾性波の多重周回を用いた液体計測用パイプセンサの開発
高柳真司
日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 2015年04月 -2017年03月, 研究代表者, 競争的資金, 若手研究(B) - 横波型薄膜共振子を利用した流路一体型質量センサの開発と抗原抗体反応の高感度検出
高柳真司
民間財団等, 第33回（平成27年度）公益財団法人カシオ科学振興財団 研究助成, 2015年12月 -2016年11月, 研究代表者, 競争的資金 - 抗原抗体反応の高感度検出を目的とした横波型薄膜共振子MEMSセンサの創製
高柳真司
文部科学省, 科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業（次世代研究者育成プログラム）「ナノテクキャリアアップアライアンス」, 2015年01月 -2016年03月, 研究代表者, 競争的資金 - マグネトロンスパッタ源から発生する高速負イオンを利用した酸化亜鉛薄膜の結晶配向制御
高柳真司
民間財団等, 第30回（平成26年度）公益財団法人村田学術振興財団 研究助成, 2014年04月 -2015年03月, 研究代表者, 競争的資金 - RFバイアススパッタ法を用いた六方晶系圧電薄膜の結晶配向制御とc軸平行膜の創製
高柳真司
日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 2012年04月 -2014年03月, 研究代表者, 競争的資金, 特別研究員奨励費 - RFバイアススパッタ法による結晶配向制御とc軸平行配向圧電薄膜の形成
高柳真司
民間財団等, 公益財団法人加藤科学振興会 平成23年度研究奨励金, 2011年04月 -2012年03月, 研究代表者, 競争的資金